二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9400028 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是一種自旋介電沈積反應器，用於半導體制造。它是一步一步的設備,可實現高長寬比、材料厚膜的快速自旋介質沈積,適用於要求精度、均勻性和可靠性的一系列應用。反應堆利用低壓過程與非反應性惰性氣體載體如Ar、N2或He。得到的沈積層均勻可靠.沈積是以生產通過化學反應形成的反應性「前體」材料為基礎的。反應堆可設置為提供非常低或非常高的沈積速率，並提供廣泛的階梯覆蓋和薄膜輪廓控制。它還包括高級功能，以幫助最小化班輪沈積，顯著減少總處理時間。該系統由多個組件組成，包括一個多區沈積室、一個碳化矽內部支撐結構、一個反應性氣體輸送單元和一個高精度自旋上介電沈積機構。這臺機器的設計提供了一個完全自動化的轉鍵過程，使薄膜層的成本效益和可靠的沈積。該腔室的設計可提供出色的臺階覆蓋和薄膜輪廓控制,並提供一系列可用於調節工藝參數的選項。對腔室內部進行了沈積均勻性和穩定性的優化，具有多個氣口、真空傳感器和高精度沈積機構。碳化矽內部支撐結構可承受高達2250°C的溫度,確保薄膜的沈積不受任何表面汙染。反應性氣體輸送工具為反應物在室內的精確輸送提供了多種輸送通道，確保了沈積過程的一致性和可靠性。該資產還配備了一個先進的數據采集和分析門戶，提供詳細報告過程的各種參數，包括厚度、沈積速率和粒度。這使用戶能夠輕松地監控和控制過程，確保高質量的薄膜沈積。AMAT Producer GT是一個強大可靠的反應堆平臺，為各種關鍵應用提供高精度的薄膜材料沈積。對於那些需要快速、安全、可靠的沈積材料、對薄膜層厚度、表面粗糙度、輪廓控制等工藝參數進行嚴格控制的人來說，該模型是一個理想的解決方案。