二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer III #9019704 待售
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已售出
ID: 9019704
晶圓大小: 12"
優質的: 2002
Dual SACVD chamber, 12"
P/N; 0242-14523
Process: BPSG
Iso Valve 0060-21442 rev b / 0060-76188 rev b
Throttle Valve 0010-14682
Foreline straight 0050-50173
Foreline elbow 0040-40886
Gas Manifold 0021-30143
LFM/Injector Manifold 3030-08008
Astron 0920-00057
Heater Transformer 211-0111-120 5 KVA
Heater Transformer 211-0101-120 5KVA
Heater Lift 0010-01418
Heater Driver 0090-00569
Pneumatic Switch Bank
Heater Ceramic 0040-04048
Heater Ceramic 0040-04048
Heater Filter 0090-01267,001
Specifications:
LFMs and injectors: STEC
TEOS, TEB, TEPO liquid delivery injection valves / lines
HFG: 0920-00107 AE 3000 RFG, AE PN: 3156114-003
LFG: ENI quanta-10D-01M1
Heat Controller: Johnson Electric Powerformer – Outdoor type 3R U/L
Gas box configuration:
Line 1: O3
Line 2: O2
Line 3: N2
Line 4: NF3
Line 5: N2
Line 6: Ar
Line 7: Empty
Line 8: N2
Line 9: He
Line 10: N2
Includes AMAT part numbers:
0040-03005
0040-61823
0040-51824
0040-03439
0040-01618
0021-06499
0040-04048
Missing parts:
Gas box enclosure
Gas box rails
Chamber support rails
Low frequency generator
High frequency generators
MFA / filter
Watlow heater contoller
Vapor line - heat trace
Foreline heater controller
2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer III是一種高度通用的反應堆,能夠在極端溫度和壓力下運行,非常適合進行日益復雜的研究。該反應器采用柔性石英密封，保證了操作的一致性和可靠性。它有一個集成的真空系統，使它能夠從超高真空快速調整到高真空，同時保持高水平的真空完整性。Advanced Materials AMAT Producer III擁有一系列令人印象深刻的功能,旨在實現各種創新實驗。反應堆能夠產生從-90°C到1150°C的精確溫度，並利用獨特的氣體混合系統來創造復雜的反應環境。此外,內置的質量流控制器可實現準確、可重復的流量。應用材料生產商III可以裝備一系列實驗，包括合成、蝕刻、結晶、敏化、輻照或沈積。反應室最大可超過40升，反應器可實現快速低溫純化、快速合成，加上擴散泵可增加真空。Producer III也與其他工具整合，允許進行多步實驗。外部氣體管線可以連接到分離器，用於多個氣體控制系統，並可以添加樣品支架，用於多個樣品運行。該反應堆通過增加一個用於精確溫度控制和反饋的光學高溫計的能力得到進一步增強。生產者的穩健設計包括集成安全系統和熱限制器，確保正常和極端條件下的可靠運行。而加上多點溫度控制器和可移動窗口等附加功能，反應堆為研究者提供了最大的通用性。總體而言，AMAT/APPLIED MATERIALS Producer III是一個先進的反應堆，能夠提供可靠的低溫工作環境，使科學家能夠自由地探索各種工藝。它具有廣泛的特點和根據特定實驗量身定制的能力，使其成為現代研究人員的寶貴工具。
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