二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer III #9070340 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER III反應器是一種化學氣相沈積（CVD）系統，設計用於半導體和其他裝置，制造。它是使用各種有機、金屬和陶瓷前體在基板上生產薄膜沈積層的理想選擇。AMAT Producer III采用垂直升力敏感器平臺設計，允許多種工藝配置和基板長達200毫米。基板加熱是通過強大的快速啟動加熱器實現的。該反應堆的基本壓力為1x10-6 Torr，能夠達到高達5 Torr的高壓，以達到最佳增長率。還包括一個內置的數字微波能源。這種雙頻源可以產生靈活的功率設置，從而在產生的薄膜中實現精確的摻雜控制，更大的表面積覆蓋，並提高晶體質量。數字源的設計目的是降低饋電連接的敏感性並實現高效的薄膜增長。為了確保均勻的沈積速率和薄膜厚度,APPLIED MATERIALS Producer III還設計了雙頻脈沖源,能夠提供45 MHz信號和270 kHz等離子體源,以實現最佳均勻性。在流程自動化方面，Producer III包含一個具有專用軟件的事件控制系統（ECS），允許用戶設計和集成一個自動化流程序列。ECS監視溫度、壓力和隔離級別,並提供控制和日誌記錄功能,包括配方執行、逐步流程控制和配方存儲。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer III還包含一個用於安全晶圓裝卸的傾斜反應器。反應堆平臺中的almorail CAE便於樣品轉移，可調節以適應不同的基材尺寸。為了確保最大限度的安全，AMAT Producer III還配備了各種系統內保障措施。這些包括壓力感應、排氣和扼流閥、電機驅動系統以及氮氣和氙氣清除系統。這些系統旨在維持最佳工作條件並保護操作員和周圍環境。