二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer III #9092388 待售

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ID: 9092388
晶圓大小: 12"
優質的: 2001
BPSG System, 8" Wafer shape: SNNF Mainframe: Producer Split SMIF: manual Ozone generator: Astex System controller UPS option: no (2) Chambers: BPSG Heater: ceramic Clean method: remote plasma Manometer: Dual 20/100 Torr Chamber wall: 11.484 o-ring Gas Delivery MFC type: Unit 8160 Valves: Fujikin 5 Ra Max Filters: Pall Transducer: MKS w/o display Regulators: Parker O2 20L UNIT NF3 3L UNIT Ar 5L UNIT He 10L UNIT N2 20L UNIT TEOS STEC TEPO STEC TEB STEC Electrical requirements: 200/208V, 50/60Hz, 240A 2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER III是一種高性能、高通量、多過程反應器,經過工程設計,提供了一系列的薄膜和裝置應用。它具有先進的專利三區設計,能夠準確的工藝設置和出色的制造均勻性。反應堆有一個自動化的雙軸定位器,這有助於改進整個感興趣區域的過程控制和一致性。此外,自調節支撐軸和可調節傾斜角為加工提供了更大的靈活性。單獨的氣門和過程控制閥提供精確的調節和獨立的操作,而集成的設備溫度管理進一步增加了過程的穩定性。此外,最先進的控制系統提供了工具的多功能性和易用性操作。這種先進的反應器還具有新型的電極到夾具的鎖定對準裝置,在制造過程中確保反應室內的最大穩定性和準確性。此外,閉環控制和溫度管理機器使反應堆能夠快速準確地達到所需溫度。集成的診斷和維護工具提供實時功能,以最小的停機時間進一步確保最大的流程效率。潔凈室的設計確保了無汙染的生產過程,使反應堆適合半導體、薄膜、光電、化學機械和真空加工等一系列應用。它還支持受益於高統一性和高吞吐量功能的多個應用程序。這些包括金屬沈積、蝕刻、氧化、矽硝化、矽氧硝化、BPSG沈積、SiO2沈積和鈍化、蒸發薄膜加工、氮化物沈積、熱氧化和分子束外延(MBE)。綜上所述,AMAT Producer III是一種可靠、用途廣泛的反應堆,能夠為各種薄膜、光電和工藝應用提供準確、高通量的制造。它具有先進的三區設計、雙軸定位器、可調傾斜角、集成溫度管理和閉環控制資產,是制造專業人士的理想選擇。
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