二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer III #9209863 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER III是一種高性能的PECVD（等離子體增強化學氣相沈積）工具，設計用於先進的半導體器件制造。它能夠將介電、金屬、氮化物等材料的薄膜沈積到半導體基板上。AMAT Producer III設備采用雙室設計，允許高效的多層沈積工藝。第一個腔室包含基板載荷鎖和是腔室。第二個腔室容納等離子體腔室及其用戶定義的磁控管源，從而能夠精確控制層厚和均勻性。該系統按照可編程邏輯控制器運行，具有高產均勻沈積特性。它具有很高的生產率，最多可配置五種不同的基材。該單元利用兩個電子回旋共振（ECR）或RF等離子體源，以獲得更高的沈積速率和均勻性。射頻源允許調整各種工藝參數，包括：射頻頻率、射頻功率、偏壓和壓力。此外，ECR等離子體源可實現極高的沈積速率，同時保持均勻光滑的薄膜結構。該機器還提供實時控制器,可監控腔室壓力、溫度和壓力控制。它還允許精確控制反應物氣體濃度和流速。APPLIED MATERIALS PRODUCER III設計了一系列安全功能,可用於可靠的操作,包括全天候監控工具,該工具將在發生任何潛在危險時關閉該工具。該工具還具有可編程互鎖資產，以確保安全運行，而溫度和壓力傳感器有助於保持過程控制。由於高效過濾模型，汙染控制保持極低。再者，可以遠程監控設備，讓用戶快速方便地進行調整。總而言之，Producer III是一個高效可靠的PECVD系統，配有眾多功能和安全系統。由於其雙腔室設計以及射頻和ECR等離子體源控制，它能夠將各種材料的高度均勻和光滑的層沈積到基板上。由於其沈積速率高、收率好，是半導體器件制造的絕佳選擇。