二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer S #177862 待售
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單擊可縮放
已售出
ID: 177862
System, SABPSG
Front End: Manual FE
Buffer pump: IPX100
Wafer sensor: WPS
Chamber position: A, B, C
Chambers A, B, C:
Lift assembly Installed
Pressure gauge Installed
RFG AE RFG-2000
RPS MKS FI20620
P-kit Installed
Ozone rack: Yes
Gas panel
SLD: Yes
MFC UNIT 8161/8160
Transducer MKS w/o display
Line L3 Empty
Line L2 Empty
Line L1 Empty
Line 1 O3
Line 2 O2 20 slm
Line 3 N2
Line 4 NF3 10 slm
Line 5 N2 5 slm
Line 6 Ar 20 slm
Line 7 Empty
Line 8 He 20 slm
Line 9 N2 20 slm
Line 10 N2 purge
Line R1 Empty
Line R2 Empty
Line R3 Empty
PLIS:
TEOS Yes
TEPO x (line ready)
TEB x (line ready)
Liquid line Yes
2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer S是一種高通量模塊化單晶片工具，用於化學氣相沈積（CVD）和原子層沈積（ALD）薄膜工藝。該刀具設計緊湊,可輕松安裝在較小的制造空間中。它也有很寬的溫度範圍，讓它適應任何生產需要。AMAT PRODUCERS的設計采用了高級安全和減少汙染措施。它有一個內置的閉環控制設備，可以自動調整生產水平、工藝參數和溫度，以防止超支並保持生產的一致性。自動化控制系統還減少了生產過程中操作員出錯的可能性。APPLIED MATERIALS PRODUCER-S在兩室工藝室配置上運行。第一個加工室設計用於處理不同類型的材料，而第二個加工室則用於在薄膜沈積前清洗基板。兩個腔室可以同時加熱，從而可以更快地生產。AMAT Producer S配備了先進的自動化單元，可以精確控制生產過程的各個方面。該工具可以通過手動模式和自動模式操作。它還配備了最先進的運動控制機器，可以控制基板支架的運動和CVD/ALD源材料噴射器的噴嘴。AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCED-S提供了多種有助於降低成本和改進制造的功能。它具有用於底物裝卸的機械臂和用於調度和優化的軟件工具。機器人臂有助於減少人為錯誤造成錯誤的可能性，而軟件資產則有助於減少停機時間。PRODUCER-S是生產薄膜塗層的可靠高效工具。利用先進的自動化模型和安全措施，為薄膜沈積需求提供了經濟高效的解決方案。
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