二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer S #9251468 待售
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單擊可縮放
ID: 9251468
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
CVD System, 8"
Shrink type
(2) Twin chambers
Controller: Legacy type
L/L and Xfer pump: EDWARDS IPX
Chiller: Steel head
AC Box
UPS
Chamber A and B:
Process: P-TEOS (PSG)
RF: ADVANCED ENERGY RFG2000-2V
LF: ENI QUANTA-10
RPS: ASTRON 2L (F120620-1)
Chamber A:
Gas panel:
Gas / Max flow / Make / Model
He / 5 slm / UNIT / UFC-8160
PH3 / 1 slm / UNIT / UFC-8160
NF3 / 3 slm / UNIT / UFC-8160
Ar / 5 slm / UNIT / UFC-8160
O2 / 5 slm / UNIT / UFC-8160
N2O / 2 slm / STEC / SEC-4400
SiF4 / 2 slm / STEC / SEC-4400
TEOS / 4 g/min / STEC / LF-410-EVP
TEPO / 0.2 g/min / STEC / LF-310A-EVP
Chamber B:
Gas panel:
Gas / Max flow / Maker / Model
He / 5 slm / UNIT / UFC-8160
PH3 / 1 slm / UNIT / UFC-8160
NF3 / 1 slm / UNIT / UFC-8160
Ar / 5 slm / UNIT / UFC-8160
O2 / 5 slm / UNIT / UFC-8160
TEOS / 4 g/min / ST EC / LF-410A-EVP
TEPO / 0.2 g/min / STEC / LF-310A-EVP
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer S是一種自旋沈積（SOD）反應器，設計用於生產IC器件和其他組件。可用於大批量生產集成電路、MEMS器件和其他光電元件。AMAT PRODUCERS反應堆是專門為提供廣泛的溫度、壓力和氣流而設計的，允許用戶對一系列材料達到優化的工藝條件。應用材料生產-S反應堆具有先進的高通量集群設備,可實現設備制造過程的自始至終的連續運行,同時提供統一且可重復的成像結果。S反應器配有雙排氣體噴射器和低流量混合系統，提高了薄膜精密沈積的溫度和壓力控制。它還有一個集成的溫度監測和控制單元，以實現優越的薄膜沈積。機器由一個加熱的ID室、一個可選溫度的加熱元件、一個對流通風機和一個真空泵組成，以維持所需的壓力。S型反應堆的設計旨在確保高水平的生產率和產量，同時保持對工藝參數的嚴格控制。它可以用於先進的IC設備生產，包括3D結構，需要沈積具有精確均勻性和可重復性的材料。控制工具使用ASCODE映射算法來確保在整個運行過程中維護所有進程條件。資產還包括一個支持軟件的反饋循環，用於控制反應堆的運行。AMAT PRODUCER-S反應堆是一種強大可靠的工具，用於制造IC器件和其他具有高吞吐量、低擁有成本和出色工藝控制的部件。該模型由於采購和運營成本低，能夠以較低的擁有成本生產高質量的集成電路。它也非常適合用於研究和開發以及大規模制造用於商業應用的組件。
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