二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer S #9291526 待售
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單擊可縮放
ID: 9291526
優質的: 2005
CVD System, 8"
(2) PECVD SiN
PECVD TEOS
(3) Twin chambers
Wafer shape: SNNF
No SMIF interface
Chamber:
A twin:
PE OX
SIN
ARC
APF
B twin:
PE OX
TEOS
SIN
ARC
C twin:
PE OX
SIN
ARC
APF
Chamber A:
Single frequency
Manometer: 10/100 Torr
Clean type (RPC): ASTEX
No DPA
Chamber B:
Single frequency
Manometer: 10/100 Torr
Clean type (RPC): ASTEX
No DPA
Chamber C:
Single frequency
Manometer: 10/100 Torr
Clean type (RPC): ASTEX
No DPA
System monitors: Through the wall
Mainframe
Mainframe type: Shrinkage
Robot type: Dual VHP
Load cassette: Manual (2) cassettes
No SMIF
VME Racks:
SBC
VGA
MEI1
MEI2
I/O Expan
Monitor
Floppy Disk Drive (FDD)
No Hard Disk Drive (HDD)
Gas delivery:
MFC Type: AERA D980 / BROOKS 6256S
FUJIKIN 5 Ra Max valves
Transducer: MKS With display
Regulators: PARKER
Single Line Drop (SLD)
SLD Gas line feeds: Top feed
Gas pallet:
Chamber A:
Make / Model / Size / Gas
BROOKS / 6256s / 2 SLPM / O2
AERA / FC-D980C / 1 SLM / SiF4
BROOKS / 6256s / 10 SLPM / N2O
BROOKS / 6256s / 400 SCCM / NH3
BROOKS / 6256s / 10 SLPM / N2
BROOKS / 6256s / 500 SCCM / SH4
BROOKS / 6256s / 2 SLPM / (CH3)3SiH
BROOKS / 6256s / 3 SLPM / He
BROOKS / 6256s / 3 SLPM / NF3
BROOKS / 6256s / 5 SLPM / Ar
Chamber B:
AERA / FC-D981C / 20 SLM / N2O
BROOKS / 6256s / 500 SCCM / N2O
BROOKS / 6256s / 5 SLPM / O2
BROOKS / 6256s / 200 SCCM / SIF4
MYKROLIS / FC-2902MEP-T / 500 SCCM / SH4
BROOKS / 6256s / 10 SLPM / N2
BROOKS / 6256s / 5 SLPM / He
AERA / FC-D981C / 400 SCCM / NH3
BROOKS / 6256s / 3 SLPM / NF3
BROOKS / 6256s / 5 SLPM / Ar
HORIBA / 4 g/min / TEOS
Chamber C:
BROOKS / 6256s / 2 SLPM / O2
BROOKS / 6256s / 200 SCCM / SiF4
AERA / FC-D980C / 20SLM / N2O
BROOKS / 6256s / 400 SCCM / NH3
BROOKS / 6256s / 10 SLPM / N2
BROOKS / 6256s / 500 SCCM / SH4
BROOKS / 6256s / 2 SLPM / (CH3)3SiH
BROOKS / 6256s / 3 SLPM / He
BROOKS / 6256s / 2 SLPM / NF3
BROOKS / 6256s / 5 SLPM / Ar
Electrical requirements:
Line frequency: 50/60 Hz
Line voltage: 200/208 V
Line amperage: 240 A
2005 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer S是一種先進的工藝室設備，用於制造集成電路和其他半導體元件。它是一種高溫化學氣相沈積（CVD）反應器，允許生產大量內置電子產品。AMAT PRODUCERS是一個多功能系統，適用於一系列的後處理應用，包括CVD、原子層沈積（ALD）和物理氣相沈積（PVD）。應用材料生產商-S具有對稱的陶瓷室設計,為聚合物、氧化物和金屬的沈積創造了理想的環境。它可以在氮氣或氧氣環境中在高達1000 °C的溫度下操作，腔室設計用於均勻的薄膜厚度和熱控制。該室還有一個集成的微波等離子體源，其設計目的是保持被沈積薄膜的質量和一致性。AMAT Producer S配備了一個機器人化的終端效應器單元和一組氣體控制裝置，這些裝置可以精確地撥入所需的流程。多種原位診斷能力，包括光學發射光譜儀（OES），分析材料沈積，優化各種工藝中的薄膜性能。另外一個有角度的基板加熱器的選項是可方便薄膜具有更大的均勻性。所有組件都安裝在一個盤櫃中,可以通過模塊化設計進行訪問,從而實現快速高效的維護。該機還配備了直觀的軟件和用戶友好的功能。它便於訪問實時流程數據、預測建模和流程優化功能。操作參數可以快速修改和調整，以達到預期的效果。集成軟件還允許遠程訪問,從而提高了靈活性和監控能力。AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER-S是一種強大且功能強大的CVD工具,可為一系列後處理應用程序提供卓越的質量和高吞吐量。其對稱的陶瓷室設計使聚合物、氧化物和金屬均勻沈積，為高溫化學氣相沈積過程提供受控環境。改進的氣體混合能力和多種現場診斷確保了材料沈積的一致性和良好的質量，有助於最大限度地減少廢料損失。其模塊化設計和直觀的軟件還提供實時監控，使其成為集成電路制造的理想選擇。
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