二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer S #9296926 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Producer S是一種多腔室、分裂型反應系統，可實現多種工業過程，包括半導體器件制造、納米線沈積、薄膜沈積和光伏。該反應器由三個室組成：一個預疏散室、一個超高真空室和一個鎖載室。布局可以很容易地適應不同的應用，整個系統能夠安裝到一個小於10英尺（3m）的單一基準空間中。預疏散室用於泵送負載鎖室和超高真空室的壓力。它還用於引入低溫真空以便於沈積。鎖載室的設計允許將基板支架裝入超高真空室而不會破壞真空，從而保持超高真空。鎖載室加熱到大約85攝氏度，有助於基板解吸和減少粒子生成。超高真空室能夠達到高達2x10-7torr的壓力。這個會議廳是進行實際沈積的地方。反應室設有屏蔽石英冷墻視口、氣體歧管、電饋通、高強度燈和容器，使大氣電離。該腔室設計用於接受不同類型的持有者，如晶片持有者和基板持有者，以實現基板操縱和沈積。AMAT PRODUCERS實現各種先進技術，包括等離子體增強化學氣相沈積（PEVCD）、化學氣相沈積（CVD）和濺射。這些過程有利於薄膜沈積在矽片和基板上，創造納米顆粒和納米結構，以及金屬、半導體和介電膜的沈積。總體而言，應用材料生產國是一種高度通用的反應堆，能夠在單一、節省空間的設計中進行各種工業過程。此配置使處理器能夠達到高級制造過程所需的壓力、溫度和真空水平,同時保持安全可靠的系統。