二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE APF #293649954 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE APF是為原子層沈積（ALD）工藝而設計的革命性反應堆。它是一種高效、功能齊全的半導體制造和其他器件制造系統。AMAT Producer SE APF反應器能夠產生具有亞納米精度和可重復性的均勻共形層。反應堆是一個單晶片處理系統，具有嵌入的等離子體源和均勻的沈積跨晶片。它包括一個超高密度的等離子體源，自動化的精密控制和真空室。超高密度等離子體源用於先進的材料沈積和蝕刻應用。它提供高功率密度、高能量等離子體，提供過程控制和出色的均勻性。它還具有高分辨率的數字等離子體控制，用於對材料沈積和蝕刻的精確控制。該集成源允許在提高均勻處理面積以前所未有的沈積精度。自動精密控制包括一個智能控制器，可以精確控制過程參數。這樣可以實現一致的、可重復的結果,而不管樣品大小或晶圓大小如何。APPLICED MATERIALS生產商SE APF反應器還包括一個復雜的用戶界面和一個先進的控制系統，允許在沈積和蝕刻過程的每個步驟優化工藝參數。真空室采用超精密加工金屬和優質石英光學窗構成。它對熱膨脹、腐蝕和腐蝕具有極好的抵抗力。該腔室允許沈積和蝕刻過程完全自動化，並允許更高的吞吐量和最小的汙染。這種高性能反應堆為半導體工業提供超精確的沈積和蝕刻。高分辨率的數字等離子體控制使得先進材料的制造過程具有準確性和可重復性。集成源在晶片上提供均勻的沈積，自動精密控制允許優化工藝參數。有了這些特點，生產SE APF反應器是設備制造的絕佳選擇。
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