二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE BD/BLOk Low k Dielectric #9287956 待售

AMAT Producer SE BD/BLOk Low k Delectric是一種設計用於在半導體器件制造中生產薄膜層的反應器。該介電層對於控制半導體器件的電容、電阻和擊穿電壓等器件特性至關重要。應用材料生產商SE BD/BLOk Low k介電反應器設計用於通過原子層沈積（ALD）產生均勻且可再現的介電層。ALD涉及一種底物連續暴露於兩種或兩種以上的前體（化學物種），它們在底物上相互反應形成薄薄的均勻層。該反應堆由一個加熱的基板臺組成，該基板臺封閉在石英室中，周圍有大約六個淋浴頭。淋浴頭用於將各種氣體前體精確地送入室內，然後吸附到基板上。基板臺可加熱至25°C至350°C的溫度。高真空泵和壓力表用於在加工過程中監測和維持腔室內的壓力。為了確保底物的均勻覆蓋，淋浴頭設計用於將前體分子的恒定分布傳遞到底物上。氣體分配系統是反應堆的一個關鍵元素，因為前體分子的均勻分布允許形成一個均勻的薄介電膜的界面生產。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE BD/BLOk Low k介電反應器的設計目的是產生低k介電層，由於介電常數值低而能處理低k應力，允許較小的器件特性，同時仍能提供良好的絕緣。這要歸功於其高效設計和使用最先進的技術。AMAT Producer SE BD/BLOk Low k電介質反應器是一種在半導體器件制造中生產薄膜層的可靠、經濟高效的方法。其高效的設計允許改善電容、電阻和擊穿電壓等器件特性，使制造商能夠生產出可靠的半導體器件。