二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE+ #293591355 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE+是一種高性能沈積設備，設計用於各種專門的反應性材料合成和沈積過程。SE+系統是在高真空環境下提供多源多元素沈積的單晶片間歇反應器。該單元擬用於生產薄膜、硬面膜等薄膜和半導體材料，厚度範圍為1 nm至10 μ m。SE+是完全自動化的,它提供了許多流程選項和控制功能。SE+利用氧化劑、等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）、物理氣相沈積（PVD）、原子層沈積（ALD）等先進技術。機器還具有可變的工藝厚度，通過控制曝光時間和壓力取決於所需的結果。SE+還可以在高吞吐量速率下創建具有卓越均勻性的多種薄膜。SE+具有先進的溫度和腔室壓力控制，提供高品質的薄膜，也與廣泛的基板兼容。它包括一個包括碳氫化合物、氧氣和其他惰性氣體的氧化模塊；它還能夠保持較高的基板溫度和壓力範圍。基板被放入一個全自動的密封室工具中，所有加工都在內部進行，不需要額外的沈積後清理、處理和中間階段清理。該資產還具有為優化過程均勻性和沈積參數控制而設計的腔室幾何形狀。此外，該室被高效氣體順序註入模型（GSIS）包圍，以確保前體的充足供應並使每一個過程都可重復。SE+還具有直觀、自動化的調諧能力,並對沈積參數進行了專家設備優化,使每次沈積過程中都能產生可重現的薄膜結果。該系統具有多種工藝源和一系列可選工藝技術（如電阻加熱、激光傳感和多種硬件升級選項），可擴展。綜上所述，AMAT Producer SE+是一種高性能的單晶片間歇反應器單元，旨在優化反應性材料合成和沈積過程。它能夠創造出精密、均勻、高通量的多種薄膜、硬面膜等薄膜和半導體材料。此外,SE+還具有先進的溫度和腔室壓力控制、為優化過程均勻性和參數控制而設計的腔室幾何形狀、高效的氣體順序噴射機（GSIS）,以及直觀、自動化的調諧和專家工具優化。