二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #293591459 待售
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ID: 293591459
優質的: 2005
PECVD System, 12"
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Chamber A and B:
Type: APF
Gas name / MFC Size
C3H6 / 3000 SCCM
NF3 / 1000 SCCM
O2 / 15000 SCCM
AR / 10000 SCCM
HE / 5000 SCCM
O2 / 10000 SCCM
Ar / 10000 SCCM
N2 / 15000 SCCM
He / 1000 SCCM
RF (High frequency): 13.56 MHz, 3 kW (maximum)
Remote plasma: 400 kHz, 10 kW (maximum)
2005 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一個最先進的半導體制造反應堆,為先進的芯片制造提供業界領先的集成、正常運行時間和吞吐量。AMAT Producer SE提供了半導體制造能力的極致,提供了直徑達8英寸的晶片的全晶片處理。該反應堆準備好了鉆石邊緣快速沈積(DE HDD)和IDEALD(IDEALD),並進行了可選的升級,以提高沈積速率和提高護套穩定性。該設計具有許多高級功能,可最大程度地提高吞吐量,包括九區多籃裝載機和高吞吐量集群沈積爐。整個系統旨在確保芯片制造精度和效率,同時消除手動操作和減少停機時間。應用材料生產商SE反應堆利用熱成像技術和先進工藝,為獨特的晶圓應用提供無與倫比的量身定制。該系統提供基於晶圓計數和堆棧配置的快速、準確的負載匹配。先進的工藝控制系統管理溫度、壓力和氣體反應條件,以確保先進材料的精確應用。堅固的過程控制系統還提供了沈積過程的均勻性,甚至在多籃子配置上也提供了均勻性。創新的雙觀測技術使用戶能夠準確監測過程及其結果。先進的流體動力控制確保了均勻的物料輸送,並控制了厚度、組成和表面紋理。反應堆采用先進的掃描和成像技術設計,實時分析晶片,檢測任何材料或工藝偏差。此外,ProducerSE應用先進的表面檢查技術來確保均勻的表面光潔度.通用的AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE可根據用戶的需要進行配置,並與現有生產系統無縫集成。它還與來自不同來源的材料兼容,其先進的信號處理算法可以讓用戶快速識別物質差異。AMAT Producer SE附帶了一整套一流的組件,包括最先進的圖形用戶界面(GUI)。GUI使用戶能夠管理從連接和控制流程到調度和管理作業的操作。總體而言,APPLIED MATERIALS Producer SE反應堆為先進的芯片制造提供了前所未有的工藝控制、精度和速度水平。這個精密的半導體制造單元提供高效的加工、最大的吞吐量和完美的精確度。其強大的世界級集成技術確保所有晶圓處理始終精確,無論其應用如何。
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