二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #293614934 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE（分裂電子束）是一種設計用於晶圓級處理的低真空過程反應器。它提供了出色的膜質量控制，強大的工藝能力，可靠的腔室保護。適用於化學氣相沈積（CVD）或蝕刻和化學機械平面化（CMP）等通用應用。AMAT Producer SE還能夠對復雜前體和稀有氣體退火過程進行高破碎反應。APPLIED MATERIALS Producer SE的反應器室是由不銹鋼構成的圓柱形設計。腔室直徑136厘米，深20厘米。它能夠一次容納多達20個晶片，可以容納大小和厚度各異的晶片。生產商SE具有先進的電子束源,用於提高過程控制.電子束源有望在處理任務中提供高精度和高精度的可重復性。光束產生水平聚焦在晶圓上的高能電子。當光束撞擊晶片密封室時，光束被調制，從而增加了沈積膜的均勻性。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE可以在低真空模式下操作，方便更快的處理時間。該反應器采用電子增強化學氣相沈積（E-CVD），電子束源提供優化的功率傳遞，以提高膜蒸發沈積的效率和均勻性。AMAT Producer SE的E-CVD能力可用於沈積金屬，如鋁，用於集成電路。該反應堆還能夠進行稀有氣體退火工藝，用於制造液晶屏和PDP顯示器中的薄膜晶體管（TFT）。所有這些過程都需要高溫，可以使用集成控制系統實現自動化。APPLIED MATERIALS PRODUCER SE附帶先進技術,其中多個自動化工具允許用戶設置作業、控制過程和監控結果。Producer SE是加工薄膜的理想工具，在廣泛的行業中有許多應用。該系統提供先進的工藝和高精度,使其成為芯片制造商、顯示器制造商和其他需要可靠薄膜處理的行業的理想工具。