二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #293625379 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE
ID: 293625379
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
CVD System, 12" Process: PETEOS 2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一種先進的化學氣相沈積(CVD)設備,設計用於生產大體積的薄膜沈積。其創新的設計特點是具有高分辨率的全面積感光器,使保形膜沈積在大面積和簡單的重新聚焦。AMAT Producer SE由堅固的不銹鋼外殼構成,便於操作和維護。該系統配備了先進的等離子體控制策略和傳感器,為整個基板區域提供了高度可靠和均勻的沈積參數。應用材料生產商SE為半導體、光電和MEMS市場提供高通量和均勻沈積的先進材料。該裝置專為大面積沈積應用而設計,具有大磁感器和全面積氣體註入功能。此配置可實現均勻的厚度、組成和性能均勻性以及高通量的過程時間。Producer SE的真空工藝室由堅固的不銹鋼構成,配有非接觸式單點徑向密封,具有先進的等離子體控制選項。該室為化學氣相沈積提供了一個穩定的環境,包括泄漏檢測和化學純度監測。加工室內和機器外部的保溫材料保證了溫度的穩定性和可靠性。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE使用集成診斷工具來監控工藝配方的性能並優化工藝選項。它還提供了一個MEMS級設備轉移機制,以移動和對齊基板進入主加工室和提取它們從加工區。AMAT Producer SE由AMAT SpectraBrite Software供電,它提供了一個易於使用的圖形用戶界面,用於高效的操作和維護。該軟件可方便地控制所有工藝參數,如氣體流速、壓差和溫度曲線。該軟件還提供了先進的工藝配方優化,允許快速優化加工參數和提高膜均勻性。APPLIED MATERIALS Producer SE是專門為薄膜生產而設計的先進CVD資產。它結合了高沈積速率、高分辨率全面積感光器、先進的控制策略和傳感器以及可靠均勻的沈積,是大面積沈積應用的理想選擇。它易於使用、內置診斷和集成的SpectraBrite軟件使其成為有價值的選擇,使其成為任何半導體制造過程中的關鍵組件。
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