二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #293628311 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE
ID: 293628311
優質的: 2021
System 2021 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE(AMAT Producer SE)是先進的單晶圓半導體反應堆。它提供獨特的功能組合,使其具有靈活性,並非常適合各種半導體處理應用。APPLIED MATERIALS Producer SE是一種感應耦合等離子體(ICP)反應器。這類反應堆結合電場和磁場產生等離子體,是一種熱的、帶電的氣體。此等離子體用於沈積薄膜、蝕刻材料或執行其他半導體工藝。Producer SE配備了針對ICP工藝條件優化的1,000 W源,以創造最佳的等離子體加工條件。這使得反應堆能夠快速處理底物,具有高均勻性,並具有低缺陷密度。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE的特點是有一個大的石英陶瓷室,直徑寬大,可容納多達六個基板。這使得復雜的過程可以同時在幾個基板上進行,從而提高效率並產生高吞吐量。反應堆配備了幾個先進的特點,以確保準確一致的工藝結果。其中包括雙頻射頻發生器、獲得專利的射頻電路和可調節射頻控制環路。這導致了對等離子體的精確控制,允許精確的過程參數和可重復的結果。AMAT Producer SE裝有閉環溫度控制系統。這有助於確保基板的溫度保持均勻,即使在較長的加工過程中也是如此。該系統還配備了多項安全功能,包括多個聯鎖和一個壓力監測系統。APPLIED MATERIALS Producer SE除了具有出色的復雜工藝性能外,還易於使用和維護。其模塊化設計使安裝和維護變得簡單,並且與廣泛的工藝化學體系兼容。該反應堆由AMAT AMATPC軟件提供動力,使用戶能夠完全控制他們的過程。此軟件還允許遠程進程監視,從而可以輕松排除任何問題。生產商SE是先進的單晶圓半導體反應堆,非常適合任何研究或生產環境。它具有一系列功能,為用戶提供了靈活性和一致的精確結果,而其易於控制的設計使其極其方便用戶。
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