二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #293825727 待售

ID: 293825727
CVD System Process: Teos.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一種通用工具,用於超高真空薄膜和濺射工藝。它是為電介質和導電材料的最先進的精密蝕刻或沈積而設計的。AMAT Producer SE是一種全面的設備靈活性,適用於大小晶圓尺寸和多種類型的工藝。應用材料生產商SE的核心是磁增強的Crossed-Field/RF/DC濺射源。這項專有技術結合了強大的電子源、高壓電源和專門設計的磁性,以達到優越的均勻性和沈積速率。隨著CrossedField/RF/DC電源功率和效率的提高,高質量薄膜可以沈積在任何晶片尺寸上,而無需基板加熱。該系統提供了一系列控制功能-從手動到全自動批處理-以提高準確性和可重復性。Producer SE包括具有觸摸屏觸摸板控制器的高級大型機,可實時監控晶圓溫度、射頻功率和沈積速率。增強的過程跟蹤可確保最大正常運行時間和一致性,這在當今復雜的處理環境中非常有益。AMAT/APPLICED MATERIALS Producer SE除了強大的Cross-Field/RF/DC電源外,還包括一個多功能的Ultra-High Vacuum封裝,配有變速渦輪分子泵源以提供高抽水和壓力穩定性。最先進的工藝傳感器-包括低溫樣品-表面溫度、壓力和負載鎖定傳感器-允許精確的工藝控制和低汙染。AMAT Producer SE還為分布式系統提供全面的自動化,能夠從一臺大型機控制多達16個工具。這種先進的體系結構實現了平穩的安裝和集成,並提高了單元工程的靈活性。為了精確地送入和定向晶片,APPLIED MATERIALS Producer SE將增強螺旋條形碼讀取器與獨特的智能拾取機器人結合在一起。Producer SE是為最具挑戰性和最精確的薄膜和濺射過程而設計的高級工具。機器強大的Crossed-Field/RF/DC濺射技術優化了過程的均勻性和速度,而自動化刀具套件進一步提高了生產效率和準確性。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE具有高性能的特性組合,為高精度晶圓加工提供了全面的解決方案。
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