二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9088227 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一種高通量的先進反應器系統，其設計目的是提供高均勻性和非常高通量的精確組合，用於先進的工藝材料沈積。集成的雙腔室體系結構使兩個獨立的系統能夠同時運行,當用戶想要處理相同的晶片類型/尺寸時,它為過程靈活性和卓越的生產效率提供了工程解決方案。AMAT Producer SE的特點是配備了創新的氣體註入輸送系統的大型均勻腔室，提供了高度均勻和可重現的等離子體工藝。大腔室設計允許精確的材料沈積均勻性和許多工藝選項，如氣相、液相、化學氣相沈積和原子層沈積工藝。獨立的工藝模塊AdvancedSource和HiCap由於低電流閃光熱火花激勵器（LFSE）使MPCVD工藝得以優化並提高了薄膜質量。低電流閃光熱火花激勵器通過控制射頻（RF）進入腔室的功率,進一步提高了過程控制和精度,確保其保持在所需的水平,精度極高。LFSE還提供了一種控制電路，可以消除加工室上銳利邊緣引起的電弧。其他功能包括一個強大的分段卡盤、一個單獨的操縱器和一個分離室，使用戶能夠進行多步驟的過程，而無需將腔室氣體混合或殘留物從一個過程交叉到下一個過程。APPLIED MATERIALS Producer SE配備了直觀的軟件界面,允許用戶自定義、控制和監控每個過程。用戶可以控制、監視和存儲流程參數配置文件,從而確保不同批次的流程性能一致。軟件還包括功能強大的File-Management系統,允許用戶保存和輕松調用配置文件以獲得可重復的應用程序結果。Producer SE具有卓越的擁有成本、高吞吐量、增強的與基板的兼容性以及在整個晶圓區域的出色均勻性。該反應堆還具有極好的可重復性，在連續運行過程中效果一致。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE為用戶提供了材料沈積方面的最大靈活性,並具有執行一系列工藝技術的靈活性。