二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9088236 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是為矽外延設計的垂直單晶圓反應器(VSWR)。該設備的起源是近40年的AMAT專業知識、眾多客戶反饋和廣泛的材料工程的結果。AMAT Producer SE具有創新的熱管理設備,可實現從快速冷卻到低溫應用的精確溫度控制。它使用高溫垂直敏感器在過程中的均勻性,確保基板均勻性和可靠的結果。這個反應堆被業界稱為「原位」化學氣相沈積(CVD)系統,這意味著它在加工過程中直接將外延矽沈積到晶片上,所有這些都在同一個腔室中。封閉的過程是沒有顆粒汙染,因為它是密封在室內。這座高技術反應堆設計為低成本、低維護,使其成為從研究到全面生產的大宗工藝需求的理想解決方案。它可以廣泛的應用,包括對FinFET和3D NAND技術日益增長的需求,以及光電、MEMS和大功率碳化矽器件。應用材料生產商SE的核心是其先進的控制單元,該單元能夠在沈積過程中對每個晶片進行實時過程監測和映射,從而實現復雜的配方編程。這種室內實時反饋控制機器有助於確保良好的過程性能和可重復的結果。此外,在整個晶片陣列上,設備在覆蓋範圍和厚度上都具有很高的均勻性。Producer SE ships as a complete wafer-to-wafer tool.這意味著使反應堆工作所需的所有元件,包括底物和晶圓處理,都包含在包裝中。整個資產的長度不到八英尺,是實驗室和制造環境的理想解決方案。它采用模塊化設計,可輕松融入任何類型的房間,節省空間,加快安裝速度。總體而言,AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一種有效且適應性強的單片CVD模型,非常適合擴大半導體行業的生產需求。由於其優越的溫度控制、精確的編程和實時的過程監控,這座反應堆每次都能提供出色的、完全可重復的結果。
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