二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9088242 待售
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已售出
ID: 9088242
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
CVD System, 12"
Process: ACL
Non-SMIF
(3) Twin Chambers: ACL/APF)
(3) RPS: localized by NPP
Localized RF Generator
Missing:
(3) Ozone Generators
(2) Kawasaki FI Robot
(2) Ceramic Heater: (1) missing, (1) non-operational
HDD
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一種將各種材料外延沈積到半導體晶片上的工具。它是一個垂直型反應堆,設計用於低溫運行,攝氏250至500度。反應器由沈積室和熱區兩個主要部分組成。沈積室是發生沈積過程的地方。在該腔室中,加熱的惰性氣體以特定模式在晶片上循環,以確保均勻沈積。加熱氣體有助於促進沈積材料與晶片表面的良好粘附。室內也有石英燈,可以提供額外的能量提升,進一步改善材料的附著力。熱區是材料被加熱的反應堆的組成部分。它配有單級氣體加熱熱墻熔餅,熱質量低,溫度快速傾斜。熱的墻面柚子可以控制地加熱材料,確保精確的沈積速率和均勻性。熱區還配有溫度控制器,便於準確控制沈積過程。AMAT Producer SE反應堆配備了眾多的安全特性,如熔爐互鎖設備、過溫防護裝置和緊急關閉系統。反應堆還有一個創新的冷卻裝置,有助於將溫度保持在所需的水平。最後,反應堆配備了高質量的真空機,保證了高真空水平和清潔的操作環境。總體而言,應用材料生產商SE是外延沈積過程中一種高度可靠和高效的工具。它具有廣泛的工藝能力,可用於將各種材料沈積到半導體晶片上。它具有直觀的安全特性和高品質的真空工具,低溫操作保證了沈積過程的精確控制。
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