二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9120403 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一種設計用於各種制造工藝的反應堆。它是一個大的高溫真空室，可以容納多種材料。該反應堆能夠處理各種各樣的材料，包括矽、砷化氙、氮化氙和磷化氙。它配有三個獨立控制的真空室，可用於樣品裝載、樣品轉移和沈積/蝕刻過程。該設備還能夠產生各種鈍化和介電層。反應堆利用石墨敏感器在加工過程中支撐樣品。它還具有兩個同心石英密封環，以獲得更好的真空密封。此外，該系統還包括一個氣體輸送裝置，用於清除氣體或將氣體引入反應堆。AMAT Producer SE利用直流電（DC）高頻濺射法沈積到樣品表面。此工藝在生產超淺結（USJ）和其他精細特征方面非常有效。濺射過程還使機器能夠提供高沈積速率、高均勻性和高工藝穩定性。該工具還設計有溫度控制資產，以確保樣品的溫度在整個過程中保持一致。型號的溫度範圍為30至500 °C。設備還包括用於在反應堆環境中保持一致壓力的壓力控制系統。應用材料生產商SE支持多種材料和沈積過程，包括氧化、氮化、矽化、擴散和蝕刻。反應堆還配備了過程監測和控制系統，以獲得準確和一致的結果。該單元包括一個在線數據采集和數據處理機器。此工具可以在整個處理過程中監視過程參數和示例條件。總體而言，生產商SE是一種高度通用和可靠的沈積/蝕刻反應堆，非常適合各種制造工藝。沈積速率高，均勻性高，工藝穩定性高，溫度控制性好。它還擁有先進的監測和控制資產，以確保取得一致的成果。