二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9150542 待售

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ID: 9150542
晶圓大小: 12"
優質的: 2003
CVD System, 12" Process: BPSG 2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一個單晶片、批量負載反應器,設計用於高純度半導體材料的外延。適用於生產需要各種沈積溫度的薄膜源和裝置,具有極好的均勻性和最小的汙染。SE封裝采用高效的晶圓加熱元件和先進的氣體輸送系統,以產生高質量的沈積,從而產生成本效益。AMAT Producer SE創新包括加熱晶片卡盤,它在整個晶片上提供均勻的加熱,以提高均勻性和降低節流能力,從而改進過程控制。在批量和連續模式下都能提高生產過程的靈活性。先進的多區域供暖和氣流分配系統確保了在封閉過程環境中的一致生產。應用材料生產商SE還利用了卓越的材料吞吐量和生產率.高通量的輸送組件,加上智能晶片級工藝監控系統,確保了一個無汙染的過程,其特點是循環時間快,均勻性好。反應堆是為廣泛的材料和應用而設計的。提供了最多三種標準基板船尺寸的選擇,各種氣體輸送系統允許一些沈積配方。此外,反應堆是自清潔的,並配有高分辨率的高溫度計,設計用於在沈積過程中精確監測晶圓溫度。Producer SE是多種高性能半導體產品的理想生產解決方案。該反應堆的高效設計和多用途操作為任何需要高質量沈積工藝的半導體生產商提供了一個突出的價值主張。
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