二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9153559 待售
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單擊可縮放
ID: 9153559
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
CVD System, 12"
(2) Chambers
Chamber A and B:
Chamber process: XJ (PE Si-lane twin)
APEX 3000 RF Generator
Gas delivery:
Gas pallet type: Surface mount vertical
No regulated gas panel
No regulated TMS
Top gas feed
Gas panel cabinet exhaust: Top
No facilities interlock indicator
SETRA Transducers
Nippon filter
Manual and pneumatic valves: Hamlet
No liquid source
Gases:
Chamber A:
Gas position / Gas / MFC Size
Gas 1 / C3H6 / 3000 SCCM
Gas 2 / H2 / 15000 SCCM
Gas 8 / O2 / 30000 SCCM
Gas 9 / AR / 15000 SCCM
Gas 10 / HE / 5000 SCCM
Gas 13 / N2 / 15000 SCCM
No regulator
No transducer
Chamber B:
Gas position / Gas / MFC Size
Gas 1 / C3H6 / 3000 SCCM
Gas 2 / H2 / 1000 SCCM
Gas 8 / O2 / 30000 SCCM
Gas 9 / AR / 15000 SCCM
Gas 10 / HE / 5000 SCCM
Gas 13 / N2 / 15000 SCCM
No regulator
No transducer
Mainframe:
No local center finder
No Cu wafer sensor
Third MF IO motion card
Robot blade: Standard VHP
Factory interface, 12":
Options: 5.3
WIP Delivery type: OHT
Wafer pass thru and storage: DSM Specific cooling tray
KAWASAKI Track robot with edge grip
No docked E99 reading capability
Load port types: Enhanced 25 wafer FOUP
Load port operator interface: Standard 9 light
No configurable color lights
No docking flange shield
Front facing intake plenum air system
E84 Pl/O Sensors and cables: Upper E84 sensors and cables
OHT Light curtain
Carrier ID host interface
(3) Colors configurable light towers
Heat exchanger:
No AMAT / APPLIED MATERIALS HX Hose and manifolds
Remote AC:
Facilities UPS interface
Chamber configuration:
Channel A / Channel B:
BFC
Foreline, 2"
T/V Type: 683B
0090-05813 RF Filter
RPS
FFU Controller
Power supply: 200-208 VAC, 60 Hz
2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是由全球領先的先進半導體設備供應商AMAT設計制造的單片行星反應堆。該反應堆結合先進特性和易於使用的軟件，在生產用於高性能、低功耗和可靠性應用的先進半導體材料方面產生統一、精確、可靠的結果。單片Advanced Materials AMAT Producer SE是工藝工程師和科學家的理想選擇,能夠為各種薄膜工藝和基材提供高產、高質量的結果。該反應堆提供了工藝均勻性、可靠性和晶片形狀一致性的精確、可重復的晶片生產。反應堆裝有一個工藝室，密封用於超高真空（UHV）和近真空（NV）工藝。該設備旨在在單晶片和多晶片基板上實現工藝，並同時處理多種氣體。反應堆還配備了一個低發射率沈積視圖窗口，為用戶在沈積材料時提供直接視圖，以及在恒溫下保持冷卻過程氣體的冰箱系統。對於控制和服務,APPLIED MATERIALS Producer SE由APPLIED MATERIALS開發的一套易用軟件支持。此套件提供直觀的界面,用於培訓、維護、監控和服務。此外，生產者的軟件平臺允許定制，以滿足個別單位和沈積需求。Producer SE提供了許多功能,旨在最大限度地提高產量和生產率。它配備了自動晶圓中心車和機器人系統，使基板保持在適當的位置，並最大限度地減少產量損失。此外，先進的數字處理控制機保持了最佳的工藝速度和位置精度，並提供了關於晶圓狀態的連續反饋。單晶片Advanced Materials AMAT/APPLICED MATERIALS Producer SE允許快速、輕松地執行和控制過程,其目的是幫助確保盡可能高的產量和質量。對於希望優化生產並取得最佳效果的半導體制造商來說，這是一個可靠且經濟實惠的選擇。
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