二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9163057 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE （AMAT）是用於生產半導體的物理氣相沈積（PVD）應用的設備。該反應器為高效的薄膜沈積提供了環境，提供了均勻、高質量的結果。它旨在實現過程控制,從而實現更高的產量和更低的擁有成本。這使得生產商能夠以較低的成本生產出更多的半導體。生產半導體的復雜過程是通過在底物上制造含金屬化合物的薄膜來實現的。然後將這層薄膜沈積在圖樣化的晶片上。傳統的PVD沈積過程緩慢，過程變化程度不可接受。這就是AMAT Producer SE有所作為的地方。APPLIED MATERIALS Producer SE利用了一個稱為反應式增強PVD （REPVD）的創新概念。這種技術通過利用真空室、底物和形成膜的前體氣體之間的反應來提高工藝產率。反應發生是因為腔室加熱到230至270 °C的溫度範圍內，使反應物在底物上形成粘附膜。通過內置反饋控制進一步優化沈積過程，使生產者能夠微調和監測過程的各個方面。Producer SE的其他功能包括用於大面積均勻性的高矽通量層系統和用於高速沈積的先進PowerMax技術。此外,AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE還提供了幾種安全功能。這包括一個保持腔室清潔的專利主動載波清潔裝置和一個主動反應保護機,用於監視壓力並將其保持在最佳範圍內。這些功能可隨時確保安全的流程。總體而言，AMAT Producer SE是半導體制造的強大工具。它結合了PVD沈積技術的最新進展和確保過程控制和可靠性的功能。它的多功能性使得它既適合大規模也適合小規模的生產者應用。