二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9198863 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一種高質量的PECVD（等離子體增強化學氣相沈積）反應器，設計用於薄膜沈積在大面積基板上。該反應堆在高達200 °C的溫度下運行，具有射頻（RF）功率支持，以提高沈積速率。AMAT Producer SE是一個成本效益高、可靠的平臺，用於大量生產集成電路、光電和MEMS（微機電系統）等復雜半導體器件。應用材料生產商SE有一個專有的氣體盒設計，允許多個氣體流入和流出的過程室。這保證了過程化學高度準確，導致薄膜沈積均勻，收率高。雙區域PECVD工藝室的設計允許多種基板處理配置,如頂部/底部和同時/順序沈積功能。這種多功能性允許沈積一系列不同的薄膜材料，如氧化物、氮化物、金屬和多晶矽。Producer SE具有一整套診斷和非接觸溫度測量功能,可提供精確的溫度剖面數據以促進準確的過程控制。它利用先進的流程控制系統,將所有流程參數集成到一套易於使用的工具中。這允許動態參數調整和優化過程條件，而無需修改程序。此外,內置診斷程序還提供有關流程條件和流程效率的實時反饋。AMAT/APPLICED MATERIALS Producer SE是為了長期運作的可靠性和重復性而設計的。它的模塊化設計允許方便的維護和升級功能,從而能夠進行升級以提高生產率和過程控制。該系統還具有高能效，具有降低二氧化碳排放的低壓運行設計，使其成為半導體器件生產更具可持續性的選擇。總體而言，AMAT生產商SE是一種可靠、通用的PECVD沈積工具。它具有雙腔室設計和多種氣流，用於精確的化學控制，使各種薄膜材料能夠精確沈積。它還具有一整套精確溫度分布和過程控制的診斷和過程控制系統。它是為提高能效和可持續性以及長期使用的可靠性而設計的。
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