二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9203790 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE
ID: 9203790
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
CVD System, 12" 2007 vintage.
AMAT/APPLICED MATERIALS Producer SE(又稱AMAT Producer SE反應堆)是一種先進的用於沈積薄膜和材料的生產設備技術,用於多種高科技產業。應用材料生產商SE反應堆系統是一種連續的基於真空的化學氣相沈積(CVD)工藝,其模塊化設計是為廣泛和快速地引進新產品而開發的。它具有一個單端(SE)水平拆分工藝室,能夠在環保的平臺上創建超薄(低至1nm)高質量的薄膜。SE室配有四個預裝氣體輸送系統,兩個在上腔,兩個在下腔,能夠對一系列氣體輸入混合物進行精確、可重復和優化的過程控制,這些混合物可以定制和配置用於先進的商業應用。生產SE反應堆提供了兩種截然不同的過程模式來提供最終的靈活性-連續或批量.在連續模式下,處理時間和溫度可以通過短坡道上升和坡道下降時間快速靈活調整,為用戶在研發活動中提供獨特的能力。AMAT/APPLIED MATERIALS生產商SE反應堆利用高純度多區溫度。上部工藝室在300-800°C的溫度下運行,確保精確控制化學品和氣體的流動。下腔的溫度介於200-300 °C之間,其壓力可在1-10 torr之間調節。這些溫度和壓力提供均勻的膜質量和沈積整個設備。AMAT Producer SE反應堆配有先進的控制和監測系統,可實時查看晶圓級和腔室級的加工條件。這種傳感器驅動的監控系統具有先進的算法,可以預測潛在的過程問題,並提供預測診斷和補救。CMC還允許預先編程的配方滿足目標工藝參數。由於其易於使用的用戶界面,APPLIED MATERIALS Producer SE反應堆的運行可以手動或自動完成,為操作員提供安全方便。可選的自動化軟件支持晶片的自動加載和卸載,以及過程優化和周期縮短。生產SE反應堆是先進的生產設備,是AMAT生產套件的組成部分。它是一種高效可靠的工具,可幫助企業開發性能得到增強的產品,確保產品滿足客戶的期望。
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