二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9203837 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一種最先進的基於等離子體的沈積或蝕刻反應器，設計用於各種半導體晶圓的制造應用。反應堆的高效設計集成了先進的過程自動化、控制和監控系統，以實現高精度的結果。其鑲板不銹鋼真空室可實現高通量加工，基板空間寬敞，檢測器和監視器配置廣泛。AMAT Producer SE的精密處理能力可提供卓越的工藝一致性、邊緣控制和清潔度,受到領先半導體制造商的廣泛青睞。應用材料生產商SE利用獨特、更高效的非貝爾旋風氣體輸送設備，實現更豐富的原位氣體成分和更高的等離子體密度，以提高吞吐量和改進過程控制。該反應堆非常適合一系列單一晶片和聚類工具的應用，包括蝕刻、清潔和沈積。其負載鎖定系統可確保在任何時候最小的氣體損失,並且可以容納200 mm大小的基板,同時還能容納許多加熱和冷卻結構的配置。Producer SE還提供高級流程監控功能。它具有一個高級過程控制（APC）模塊，該模塊提供對過程變量的實時閉環反饋控制。其軟件還包括對單個晶圓或群集工具應用程序的基於規則的控制。此外,它還提供靈活的配方開發和執行支持、自動報警系統以及對具有統計意義的數據的訪問。最後，反應堆先進的安全特性使其成為一種可靠、安全的多用戶應用工具。其獲得專利的安全鑲板利用X射線防玻璃，在不損害反應堆壓力完整性的情況下提供關鍵部件的訪問。此外,集成的高級安全單元允許系統管理員隨時使用密碼保護配方和機器完整性設置。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE通過其精度、過程控制和安全特性，為創新的半導體晶圓制造工藝設定了標準。它為業界提供了高效、可靠、安全的基於等離子體的沈積和蝕刻解決方案。