二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9204009 待售
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單擊可縮放
ID: 9204009
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Twin chamber, 12"
Process: APF
Major part:
RPS: MKS FI80131(Astron ex)
HF RF Generator: 0920-00107(Apex3013)
Ceramic heater: AlN
Gas panel: 1-1/8 C-Seal surface mount
AC box: 0195-01042
Heater lift driver: 1080-00126
Pin lift driver: 0190-13840
Throttle valve: 683B-26033
ISO Valve: 99D0654
Manometer: 20T / 100T
Process kit:
Top liner
Middle liner
Bottom liner
Pumping ring
Lift hoop
AL Spacer
Gas configuration:
Gas Size(sccm) MFC Filter Valve
Stick 1 02 15,000 UFC-8565C NAS Hamlet
Stick 2 AR 5,000 UFC-8565 NAS Hamlet
Stick 3 HE 5,000 UFC-8565C NAS Hamlet
Stick 4 C3H6 3,000 IFC-125 NAS Hamlet
Stick 5 N2 Purge NA NA Hamlet
Stick 7 N2 15,000 UFC-8565C NAS Hamlet
Stick 10 02 15,000 UFC-8565C NAS Hamlet
Stick 11 N2 Purge NA NA Hamlet
Stick 12 NF3 5,000 UFC-8565C NAS Hamlet
Stick 13 AR 10,000 UFC-8565C NAS Hamlet
Lift ring(Fixed type): Localized
Missing parts:
Foreline
Heater lift driver
Aluminum slit insert
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一種主要設計用於半導體制造和其他工業應用的共用反應器。它由AMAT, Inc.制造,旨在通過一套全面的工具控制、數據傳輸和監控功能,實現快速、高效和精確的操作。AMAT Producer SE由幾個部件組成，包括反應室、真空設備、過程氣體輸送系統、噴射器、傳送帶、冷卻裝置和排氣清潔機。反應室用來容納和隔離反應堆內的環境。它配備了上遊真空工具，這是總資產的組成部分。工藝氣體輸送模型有助於向反應室輸送所需的工藝氣體。噴射器引導和接收過程所需的化學物質，而傳送帶則用於在腔內移動材料。冷卻設備用於調節腔室內的溫度，而排氣清理系統則有助於確保在產品釋放前從環境中清除所有汙染物。應用材料生產商SE是一種多級反應器，可用於多種工藝。它能夠提供高水平的過程控制，包括精確控制反應參數、註入精確數量的化學品和過程監測。它還設計為提供高度自動化，具有動態改變操作條件和實時監控過程的能力。該單位還可以安全地在本地和遠程傳輸數據，為過程的管理和控制提供統一的平臺。在安全特性方面，Producer SE包括多種安全相關設置和警報，以幫助確保人員安全和工藝環境。例如，它配有內置的安全聯鎖機，在不符合某些條件的情況下，可以防止過程運行。該工具還提供了對所有流程參數的全面監控和日誌記錄，從而能夠快速、輕松地診斷出任何與流程相關的問題。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是生產先進半導體器件的理想工具。憑借其提供高水平自動化、工藝精度和安全性的能力，可以為制造工藝帶來附加值。
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