二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9204012 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 9204012
晶圓大小: 12"
優質的: 2002
Twin chamber, 12"
Process: HT SiN
Major part:
RPS: MKS FI80131(Astron ex)
Ceramic heater: AIN
Gas panel: 1-1/8 C-Seal surface mount
AC Box: 0195-02428
Heater lift driver: 1080-00126
Pin lift driver: 0190-13840
Throttle valve: 683B-24562
ISO Valve: SMC XZ-218
Manometer: 10T / 100T
HF RF Generator:
0920-00085
0920-00107
Process kits:
Top liner
Middle liner
Bottom liner
Pumping Ring
Spacer
Lift hoop
EQ Liner
Liner
Nitch
Gas panel configuration:
Gas Size MFC Filter Valve
Stick 3 N20 15,000 UFC-8565 PALL Hamlet
Stick 4 N20 1,000 IFC-125 PALL Hamlet
Stick 5 N2 Purge NA NA Hamlet
Stick 6 SiH4 1,000 UFC-8565 PALL Hamlet
Stick 7 NH3 700 IFC-125 PALL Hamlet
Stick 8 HE 15,000 UFC-8565 PALL Hamlet
Stick 9 N2 25,000 UFC-8565C PALL Hamlet
Stick 10 NH3 5,000 UFC-8565 PALL Hamlet
Stick 11 N2 5,000 UFC-8565 PALL Hamlet
Stick 12 N2 Purge NA NA Hamlet
Stick 13 NF3 5,000 UFC-8565C PALL Hamlet
Stick 14 AR 10,000 UFC-8565 PALL Hamlet
Stick 15 N2 5,000 UFC-8565C PALL Hamlet
Junction box missing
2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是矽片生產的先進反應堆平臺。它是業界首個為電子行業打造質量最高的集成電路的300 mm直徑單晶圓處理系統。AMAT Producer SE加工半導體晶圓，具有業界最高的收益率。應用材料生產商SE的最新技術旨在提高晶圓的整體加工和產量。反應堆包括兩個組件，以確保最大的性能和靈活性：集群工具和工藝模塊。集群工具是反應堆的主要部件之一，負責在單晶圓環境下生產先進工藝。此工具可最大限度地提高生產靈活性、效率和成本節約。集群工具包括低溫流程模塊、多個流程室、高速隔離機制和選擇性交付系統等高級功能。它還利用AMAT專有工藝配方來確保最佳的制造性能。Producer SE的第二個組件,即工藝模塊,旨在優化單晶片環境中的處理。利用APPLIED MATERIALS專有技術，支持多種先進工藝，如原子層沈積、離子植入、離子銑削和蝕刻。它還可以提高吞吐量、產量和集成密度。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE配備了處理範圍廣泛的半導體晶圓，從50nm到10微米。它旨在處理最先進的工藝技術,使其成為那些希望為領先市場制造復雜半導體器件的人的理想解決方案。AMAT Producer SE是一個強大可靠的矽片生產反應堆平臺，提供業務中最高的收益率。
還沒有評論