二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9215447 待售
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ID: 9215447
晶圓大小: 12"
優質的: 2003
CVD System, 12"
Process: P-TEOS(USG)
(2) Twins
FI Robot: KAWASAKI
Chamber configuration: Chamber-A,B
RPS: MKS FI120620
Heater: ALN
RF:
ADVANCED ENERGY APEX3013
ADVANCED ENERGY PDX-900-2V
Gas delivery
Chamber A&B:
Gas / Size / Model
NF3 / 5slm / Unit 8565C
TEOS / 7mgm / STEC LF-A40M-A-EVD
TEOS / 7mgm / STEC LF-A40M-A-EVD
Missing gases for chamber A & B: O2, Ar, He
Missing parts: H/E, HDD, OTF, iPump
Power requirements: 200/208 V, 60Hz
2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是市場上領先的矽加工反應堆之一。這座反應堆設計用來制造各種各樣的材料,包括用於生產芯片的矽。它具有廣泛的功能,有助於確保高效生產高質量的半導體。AMAT Producer SE有四個不同的區域,用於不同的功能。第一個區域是設計用於處理矽片等固體基板的腔室。這個腔室配有一個旋轉的內壁,以幫助均勻地分配進入的氣體。還有一個可調節的淋浴頭,用於液體前體在基材上的應用。第二個區域,稱為「加工區」,是金屬沈積過程發生的地方。該區域包含一個多視圖照明系統,該系統便於金屬均勻沈積到基板上。MVIM還允許對薄膜厚度、均勻性和覆蓋範圍進行更大的控制。第三個區域是「卸載/裝載區」,它允許移除已完成的晶片。該區域的設計使其易於快速高效地去除和加載晶片。第四個區域是氣體分配系統(GDS),用於調節和監測過程氣體流經反應堆時的壓力和速度。APPLIED MATERIALS Producer SE具有一系列調整和監控功能,可實現最佳的過程控制和穩定性。這包括壓力和溫度傳感器,以及調整功率、氣體流量和腔室大小的能力。反應堆還有一個計算機系統,可以遠程監測過程並提供性能數據。生產商SE是一種高效、可靠的反應堆,能夠生產高質量的矽和其他半導體材料。其特點使其成為尋求可靠高效半導體生產的一個不錯的選擇。
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