二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9229583 待售
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單擊可縮放
ID: 9229583
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
CVD System, 12"
UV Cure & SiN
FI: 5.3
FI Robot: KAWASAKI
Chamber A: Nano cure (UV Cure)
Chamber B: BD (Black diamond)
Chamber C: Blok (Barrier low-k)
Gas: IGS Type
Chamber A:
Gas / Model / Flow
Ar / UFC-8565 / 30slm
He / UFC-8565 / 30slm
Chamber B:
Gas / Model / Flow
O2 / UFC-8565 / 2slm
O2 / UFC-8565 / 500sccm
He / UFC-8565 / 5slm
TMS / UFC-8565 / 750cc
He / UFC-8565 / 5SLM
He / UFC-8565 / 12slm
NF3 / UFC-8565 / 3slm
Ar / UFC-8565 / 3slm
He / UFC-8565 / 5slm
He / UFC-8565 / 10slm
Chamber C:
Gas / Model / Flow
O2 / UFC-8565 / 3slm
O2 / UFC-8565 / 500sccm
He / UFC-8565 / 5slm
O2 / UFC-8565 / 10slm
He / UFC-8565 / 12slm
NF3 / UFC-8565 / 3slm
Ar / UFC-8565 / 3slm
He / UFC-8565 / 5slm
He / UFC-8565 / 5slm
UV Power supply rack: ASTEX Generator
Missing parts:
Vacuum EV
PC
Flex controller unit
Chamber B & C:
Heater power filter
Chamber IO Controller unit
Lid assy
MF Motion controller CPU board
LFC:
(2) mDEOS
(2) ATRT
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一種最先進的產品，是當今市場上質量最高的反應堆之一。這個單晶圓自動化平臺為半導體器件制造提供了一個高效、經濟高效的解決方案。它能創造出種類繁多的材料，包括矽、移植物、砷和砷化銨，具有優越的工藝控制和較高的可重復性。AMAT Producer SE的設計提供了出色的溫度控制和整個腔室的均勻性。APPLIED MATERIALS Producer SE采用獨特的空氣熱系統構建,進一步確保了準確和一致的溫度。這使得令人印象深刻的精確和可重復的結果，以及提供處理晶片基板的靈敏度較低。它還能夠同時生產多層，幫助交貨時間和提高質量。此外，一個頂級的系列嵌入式PC和直觀軟件是Producer SE系統的核心。其軟件提供用戶友好的命令和對其他操作的訪問。該軟件旨在幫助工程團隊輕松高效地創建和重復流程,並優化流程以提高產量。這還提供了集成配方管理,以優化使用SE的10,000多種配方。在安全性方面，AMAT/APPLICED MATERIALS Producer SE配備了各種安全特性，包括過溫和壓力保護，以及硼矽酸鹽視口。硼矽酸鹽窗口允許全貌的過程，使食譜實時監測。AMAT Producer SE還具有日常維護程序,以確保操作一致。總之，應用材料生產商SE是一個特殊的，廣泛接受的，用戶友好的反應堆。強大的設計、安全功能和用戶友好的軟件相結合,使其成為高質量材料生產的可靠選擇。它還支持高吞吐量、高效生產和高級工藝優化,從而節省了成本。
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