二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9239732 待售
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ID: 9239732
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
CVD System, 12"
Process: ACL
Sub process: HT ACL
SMIF / FOUP
(2) Twin chambers
Chemical: C3H6, NF3
AC Rack
EFEM
Rear monitor
Monitor rack
FFU Panel
Signal cable box
Load module:
(2) Load ports TDK E4
BROOKS MAC8 Loader arm
ALCATEL A100L Dry pump
Transfer module (Platform):
Transfer arm (Robot) BROOKS MAG8
ALCATEL A100L Dry pump
Process module:
(2) Chambers
(2) ALCATEL ADS 1202H Pumps
(2) NPP NPR-S10L RF Generators
(2) Gas boxes
(3) IBM X306 PC
Utility:
Distribution panel
ETC
Gases: CH36, NF3, N2, AR, HE
Operating system: Windows
2007 vintage.
AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER SE（基板電極）是一種半導體制造工具，設計用於在基板表面施加導電材料。利用電化學沈積--液體在基板上沈積固體材料的電解能力--實現均勻、精確層導電材料的一致、可靠、高度重復的沈積。AMAT Producer SE有一個潔凈室級的腔室，為沈積過程提供一致的環境。目標電極（陽極）位於基板支架（陰極）正上方一個充滿電解質溶液的包含區域，高電流通過溶液驅動，使所需材料能夠電化學沈積。應用材料生產商SE通過批量操作保護液體電解質不受汙染和蒸發.它也非常適合自動操作和與裝配線集成。為了達到均勻均勻性，腔室利用攪拌特性和攪拌槳促進材料在目標基板上的均勻分布。每個過程的循環時間都是高度可靠的，因此不需要操作員在沈積周期中計算或調整變量。塗抹材料的特性也非常可重現，塗抹器的銳利幾何控制允許創建薄而緊密形狀的特征。這些工具還具有微米的分辨率和精度。APPLIED MATERIALS/Producer SE提供了強大的高端電化學沈積（ECD）系統,具有許多功能,從快速循環時間和溫度控制能力到使用額外惰性氣體以提高處理能力。此外，該工具是以廣泛的材料如銅、金、鋁以及其他各種金屬氧化物達到高質量、可重復、可再現的效果的有效方法。為了進一步提高工藝的復雜性,它能夠支持蝕刻、蝕刻停止、平面化和邊緣珠置換,從而提高了工藝的可重復性。該系統還由AMAT/APPLIED MATERIALS客戶服務合作夥伴Enviro-Tech維護和服務。Enviro-Tech利用高級診斷程序對AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE系統進行日常維護和維修。這些服務有助於維護工具的頂級性能和一致的流程性能。此外，Enviro-Tech的工程師還向AMAT Producer SE提供有關系統使用和開發新沈積配方的培訓。
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