二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9240191 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一種設計用於半導體工業制造半導體晶片的反應堆。它由一個熱化源、氣體輸送設備、一個電極系統和一個真空室組成，晶圓可以在其中進行一系列氣體處理。AMAT Producer SE利用熱絲單元進行氧化矽、多晶矽及相關材料的化學氣相沈積。燈絲的熱表面被加熱到所需溫度，通常為600°C，以允許揮發性化學物質分解。蒸氣充分分解後，以受控的壓力和流速引入真空室，在那裏沈積到晶圓表面上。光源和電極有助於維持腔內組合氣體環境的均勻性。電極有兩個功能：一個是維持負直流偏壓，這有助於沈積過程，另一個是維持正確的腔室壓力。氣體輸送機由幾個部件組成，包括質量流量控制器、氣體歧管和遠程或集成閥。氣體歧管將氣體從質量流控制器收集並引導進入腔室，並使用閥門調節腔室內的氣體壓力。最後，熱化長絲工具有助於提高沈積過程的速率、穩定性和均勻性。熱化長絲的設計是為了降低長絲的熱梯度，這有助於創建一個更快，更均勻的沈積速率。APPLIED MATERIALS Producer SE是一種強大的反應器，設計用於將氧化矽、多晶矽和相關材料沈積到半導體晶片上。它由熱化源、氣體輸送資產、電極模型和真空室組成。熱化燈絲設備有助於在腔內保持均勻的熱梯度和氣體壓力，而電極為均勻的沈積過程提供必要的直流偏置電壓。所有這些特性結合起來，使得這種反應堆成為制造半導體晶片的高效、通用的工具。