二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9251462 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Producer SE（AMAT Producer SE）是一種用於半導體器件制造的單晶圓反應器。它是一個垂直爐反應堆，專門為與半導體和相關器件中的物料層沈積有關的應用而設計。應用材料生產商SE能夠支持多種沈積材料,包括氧化物、氮化物、碳化物以及非晶矽等復合材料。其底壓小於5x10-6 torr，腔室大小為4"。它還配有石英室和由高級陶瓷材料制成的加熱板。加熱板可支援高達1200 °C的溫度，以及溫度斜坡、線性方程式或個別臺階。熱控制用戶友好，範圍介於50°C和1200 °C之間。它還配備了一個旋轉卡盤，以確保晶片上的均勻沈積。Producer SE的主要特點是可靠性和可重復性。該工藝室采用陶瓷加熱元件和模型控制的溫度曲線，可實現精確的溫度控制，以確保工藝結果一致。此外，腔室的氣體流出率低，操作前不需要烘烤。該設備還具有自動端點檢測功能,有助於確保系統過程的成功,並且可以針對各種材料進行編程。此外，該單位還有一臺綜合燃氣管理機。這有助於確保過程中準確、穩定的氣體輸送。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是用於半導體和器件應用的強大工具。它提供精確的過程控制,需要較低的擁有成本,並且對於一致的結果是可靠的。該工具可用於各種沈積材料，對於那些需要一個可重復和成功的晶圓處理解決方案的人來說是一個強大的解決方案。