二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9251465 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一種自動化化學氣相沈積（CVD）反應器，因其集成和先進的工藝控制特性而獨樹一幟。AMAT Producer SE為低和高k材料的沈積以及復合半導體合金如GaAs和InGaAs的合成提供了最佳解決方案。反應堆設計能夠在廣泛的沈積參數上實現可靠和均勻的沈積，並為客戶制造系統的緊密集成提供了超緊湊的空間。反應堆由一個沈積室組成，該沈積室有四個單獨的供暖、制冷和入水的進料電源以及一個背面敏感器。該腔室設計為達到1200 °C的最高工作溫度，並使用機械渦輪分子泵將基本真空保持在10-7 mbar以下。調節後的氣體反應物流通過氣體分配系統從綜合輸入源精確輸送到沈積室。Crucible由鎢和銨制成，能夠達到高達2000 °C的溫度。背面敏感器由石墨制成，還包括一個加熱器板，以實現固體反應物的平衡加熱。APPLIED MATERIALS Producer SE包含幾個獨特的功能,以提高過程穩定性、一致性和可靠性。例如,生產者包括一個溫度控制的磁感器,它可以自動調整壓力和流量,從而提高加工窗口的穩定性。反應堆還合並了一個多區加熱系統，隔離四個腔室中的每一個，以避免反應物之間的交叉汙染。這種多區系統還允許在基板溫度剖面中更大的均勻性，同時沈積在較大的基板上。此外,Producer SE還配備了集成冷卻功能,以進一步減少沿基板的熱梯度。反應堆還配備了用於停止過程的緊急按鈕、基於鹵碳的沖洗以及用於保護操作員和周圍環境的安全閥系統等先進安全系統。此外，反應堆能夠儲存多達八種配方，以便快速循環沈積過程參數。集成的離線控制器使得從單個位置遠程控制反應堆成為可能，以避免手動錯誤並減少設置時間。總而言之，AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一種堅固可靠的自動CVD反應器，可用於各種沈積過程，並能提高均勻性和過程穩定性。因此，AMAT Producer SE可用於在半導體工業中可靠地、快速地沈積各種材料和合金。