二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9258533 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一種400 mm電子束蒸發器設備,設計用於先進的基板沈積。它是現有的最先進的沈積工具之一,具有高功率電子束源和精確、可重復的劑量控制。該系統的沈積速率高達每分鐘600埃,非常適合所有類型的薄膜應用。此外,它還有一個大的腔室尺寸,可容納多達500毫米的晶圓,簡化了裝卸操作。強大的光束源和腔室設計結合了交鑰匙操作和自動化友好界面,提供可靠一致的薄膜沈積。AMAT Producer SE利用增強過程監控(EPM)確保產品沈積和質量一致。EPM單元監測沈積速率、沈積均勻性和劑量控制,以確保工藝精度。這樣可以確保每個晶片和批次之間的一致性,從而使用戶能夠信任其結果。此外,分數監視器將過程控制收緊到0.1%,從而創建更一致的產品,並減少過程的可變性。最後,APPLIED MATERIALS Producer SE配備了預測學習和監視(PLM)功能,可以提前診斷潛在的任何異常,從而減少停機時間和生產延遲。該機器還配備了最新的安全功能,使其能夠滿足所有的監管標準。其中包括三級前開口安全門(TFOSD)工具、安全邊緣阻擋機構、分布式資產架構(DSA)和惰性氙氣充氣模型(IAGS)。更不用說,還有許多用戶友好的功能,如可選晶圓識別模式(SWIM)和整體設備有效性監視器(OEEM)。所有這些功能的結合使Producer SE成為當今市場上最先進的半導體沈積系統之一。
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