二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9258535 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE(特別版)反應器,簡稱單晶片工具,是一種用於生產先進集成電路的半導體加工設備。該設備能夠為各種高級市場提供專門的流程應用程序,包括FD-SOI、高性能邏輯、RF、MEMS和3D集成。AMAT Producer SE是一個模塊化工具集,允許工程師定制系統以滿足其特定應用。該平臺具有高度靈活的體系結構,具有多種可配置的工藝座椅模塊。這種靈活性使設備能夠提供各種工藝功能,如氧化、氮化、沈積、蝕刻、幹條、直接寫入光刻和成像。APPLIED MATERIALS Producer SE還具有復雜的陣列功能,包括高分辨率的多個陣列過程,以評估具有納米尺寸臨界尺寸的緊密設計結構。該機還包括先進的過程控制和監控功能,允許緊密集成,實時過程監控,以及超清潔處理的原位過程優化。該工具以直接輸送液中氣體(LIG)資產為基礎,可實現自動化的低壓前體輸送,以及在工藝室內進行氣體混合控制。這可以提供卓越的蝕刻速率和工藝一致性,並減少前體消耗,從而提高利用率。此外,作為模塊化模型,Producer SE可以合並到現有的模塊化集群工具設備(MCT)或其他適用的工廠自動化系統中。這允許與現有制造系統中的其他工廠流程節點進行無縫的過程共享和集成。AMAT/APPLICED MATERIALS Producer SE單晶片工具具有先進的工藝技術、高靈活性和廣泛的可配置性,是開發和向市場提供最先進、低成本和可持續的產品的理想單元。
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