二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9261409 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一個單端（SE）生產反應器，設計用於沈積多晶和非晶態半導體材料的薄膜。該反應堆設計用於在高達800°C的溫度下輸送1.5nm至5nm/分鐘的材料沈積速率。SE使用遠程操作的源室，其中包含電子束源，以提供高能、均勻的電子束。該光束被定向並聚焦於反應堆主腔內的基板表面。主室還配有空氣冷卻襯裏，以維持所需的溫度，並支撐沈積過程。該系統配備了數字控制器，用於控制廣泛的過程變量，包括束電流、電子束偏轉和聚焦，以及腔室內的溫度和壓力。數字控制器還使用戶能夠調節基板溫度和腔室壓力，以實現不同成分材料的最佳沈積速率。此外，數字控制器可用於精確監測和優化最大屈服率和沈積速率的工作時間、光束電流和腔室壓力。對於某些需要較高基材溫度的材料，AMAT Producer SE可以配備額外的石英管來提供額外的加熱。石英管既可用於基板加熱，也可用於側壁加熱，提供比被動側壁加熱器更均勻的基板加熱。石英管內的逆變電源可用於精確設置特定工藝參數所需的電流輪廓和溫度。除了手動控制的過程變量外，APPLIED MATERIALS Producer SE還包括一個自動化系統，在每次使用後清洗腔室。這個自動化系統使用了一系列的清除循環，以確保有害的碎片從沈積室中清除，並確保基板表面完全清潔。這種特性對於獲得最佳的薄膜特性和產量是必不可少的。生產商SE的設計目的是為薄膜和聚合物的沈積提供最大的吞吐量和精度。它是尋求高效可靠的中小型生產解決方案的工藝工程師的理想選擇。單端設計，SE可以在維護最少的情況下達到最高的生產率。利用這些特性，AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE的用戶會發現它是他們沈積要求的最佳選擇。