二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9274481 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE
ID: 9274481
晶圓大小: 12"
優質的: 2009
CVD System, 12" Process type: LowK (BDII) UV Cure chamber VHP Robot (3) Chambers LDS Unichem 3200 ESR20N Pump Accessories: SMC H2000 Chiller Ozone rack UV Rack with (4) UV Power supplies (2) Abatements (2) FUJIFILM Genstreams Pumps: (2) EST500WN A1503H ADP122 ASTEX AX8403 Ozone generator Apex 3000 Generator MPS2-610V UV Power supply 2009 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一種高性能的沈積設備,能夠將介電、金屬和其他材料沈積到各種工藝幾何形狀的基板上。該系統利用專有的多源平臺,為所有過程步驟提供卓越的均勻性、溫度均勻性、速率匹配和可重復性。它是設計和完全自動化的,用於具有多種工藝的生產線,包括但不限於物理氣相沈積(PVD)、濺射沈積和化學氣相沈積。AMAT Producer SE可實現極低的基材汙染和晶片對晶片的不均勻性,同時確保高吞吐量、重復性和控制精度。應用材料生產商SE平臺由幾個模塊組成,包括大型機、蒸發器、洗滌器和電源。大型機充當平臺的中央控制單元,由計算機和軟件組成,控制整個機器。蒸發器模塊用於晶片表面沈積,利用標準工業級部件提供一致的吞吐量和工藝,同時實現了優異的基板均勻性。洗滌器模塊用於工藝室的排氣清洗,以適應各種不同的工藝。電源模塊用於控制蒸發器模塊的電源。該工具還包括多項功能,可確保最大程度的流程靈活性、可重復性和精確控制。該資產配備開放式浴室設計、多工藝烤箱和先進的晶圓提升能力。多源平臺允許在一個通道中沈積幾個物料層,提供最大沈積速率。該模型還提供了可調的顆粒過濾能力,確保了自限沈積過程的均勻性。此外,Producer SE具有獨特的校準特性,可以精確控制蒸發速率、厚度均勻性和沈積質量。AMAT/APPLICED MATERIALS Producer SE用途極為廣泛,可提供廣泛應用的最佳沈積結果,包括顯示技術、半導體互連、磁性記錄介質和薄膜應用。這種設備非常可靠,在整個系統中集成了極好的容錯能力,並有各種工藝參數量身定制,以確保最精確的沈積結果。因此,AMAT Producer SE提供了卓越的性能和可重復性,使其非常適合大批量生產環境。
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