二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9275287 待售
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ID: 9275287
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
CVD System, 12"
(3) Twins
Process: HT SiN
OS
FES (CGA)
RPC
NPP
Throttle valve
2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是設計用於半導體制造行業的最先進的化學氣相沈積(CVD)反應器。AMAT Producer SE是利用感應耦合等離子體(ICP)源和多種熱源將多種材料--包括氧化物、氮化物和金屬--沈積到基板上的單晶片生產反應器。其獨特的設計結合了單晶片加工和高溫CVD,具有卓越的均勻性和卓越的生產率。應用材料生產商SE由幾個主要部件組成,包括一個ICP源、一個氣體輸送系統、一個裝有幾個基板的炮塔和熱源。ICP源是一種感應耦合的高頻線圈,用於將反應室中的氣體電離,使其反應並沈積在底物上。氣體輸送系統供應進行沈積反應所需的氣體,炮塔容納將接收沈積物質的底物。最後,熱源提供了引發和加速沈積反應所需的能量。生產商SE設計為用途廣泛,可用於多種沈積應用,包括熱穩定薄膜沈積、納米顆粒沈積和光學薄膜沈積。它有三種型號-SE 75、SE 100和SE 150-可滿足不同的晶圓尺寸和工藝要求。AMAT/APPLIED MATERIALS生產商SE節能環保,因為它減少了對額外工藝氣體和能源的需求,同時也提高了工藝穩定性和產量。此外,AMAT Producer SE的設計也是為了最大限度地提高操作員的安全性,因為它具有許多安全特性,包括控制氣流、工藝室保護性氣體的流入、密封的基板儲存區和緊急停止功能。總體而言,APPLIED MATERIALS Producer SE是一種功能強大且用途廣泛的CVD反應器,設計用於半導體制造行業。其創新的設計使單片加工具有更好的均勻性和生產率,使其成為高產生產先進材料的理想選擇。
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