二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9280399 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER SE被設計為一種半導體蝕刻反應器，用於精確蝕刻到基板表面或從基板表面去除特定材料，損害程度最小。這種反應器可以利用各種蝕刻工藝改進尺寸和電氣控制，促進制造高度精確的特性。它配備了保持穩定一致的工藝環境的真空設備，以及提供精確溫度和功率控制的車載矽晶體監視器。反應堆利用一系列強大的技術來創造所需的特性和效果，包括離子註入、光刻蝕刻和光刻剝離。其集成的等離子體源和單一晶片源提供了包括各種金屬和塑料在內的各種材料的蝕刻能力。直接寫入掃描系統支持復雜的陣列,以實現最高級別的自動化和準確性。該單元使高級過程控制能夠實現可重復和準確的過程結果。反應堆配有一個真空室，能夠持續高真空水平，從而能夠有效地運輸和蝕刻材料。它通過精確的氣體輸送、離子能量和離子能量控制提供了出色的過程控制，使用戶能夠準確控制其目標材料的蝕刻速率。此外,端點檢測機允許可重復的過程結果,從而確保最終設備是一致的。AMAT Producer SE專為在大批量生產環境中安全高效運行而設計。其專有的冷卻設計具有兩個水冷線性級，允許快速啟動和冷卻基板。其先進的真空工具能夠處理高顆粒密度，確保所有工藝的可靠性能。集成反應室提供均勻的稀釋速率，在底物表面具有一致的溫度分布。此外，它還提供壓力控制，以減少物料運輸，在整個過程時間內保持一致的氣體流量，以及一個統一的泵送速率。這樣可以確保出色的蝕刻均勻性,從而實現精確的蝕刻輪廓和準確的設備特性。APPLIED MATERIALS Producer SE資產提供了一套全面的特性和功能,能夠增強半導體制造性能和增強對蝕刻條件的控制。從最大化均勻性到優化產量，是適合各類應用的可靠、高效、具有成本效益的蝕刻反應堆解決方案。