二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9280551 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE （AMAT）是一種高通量化學氣相沈積（CVD）反應器，用於將薄膜精確共形地沈積到多種基材上。該反應堆非常適合生產高光學、電或熱性能的薄膜，這些薄膜經常用於制造半導體器件、薄膜電池、顯示器和其他組件。AMAT Producer SE利用先進的脈沖矽控制整流器（SCR）電源產生精確和可重復的脈沖形狀，允許在CVD過程中精確控制等離子體和蒸氣化學。其綜合氣體混合系統使反應物氣體的混合物能夠高精度地輸送到沈積過程中。此外，雙區溫度控制技術允許為基板及其周圍環境設置不同的溫度。APPLIED MATERIALS PRODUCER SE的可自訂製程室體積少於2,000立方厘米，使其可以支撐最大10吋尺寸的基板。該腔室的工作壓力範圍為25-50毫升，設計目的是限制雜散氣體的作用，確保高真空水平。此外，工藝室的橫向通量設計提供了最佳的沈積均勻性，提高了工藝的生產率和產量。Producer SE的先進特性允許生產各種各樣的薄膜，從低電阻率的銅膜到半透明的導電氧化鋁。它最多可提供四層材料，具有獨特的成分和晶體結構。該系統的可重復工藝參數保證了高性能薄膜的可重復性和質量的一致性。該工藝的靈活性和精確度，加上AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE反應堆的可擴展性，使其成為半導體和電子工業制造商的理想工具。其無與倫比的處理能力使生產具有業界領先產量和成本效率的高性能組件成為可能。