二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9281300 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE Reactor）是一種專為半導體製造而設計的單晶片氣簇離子源反應性離子蝕刻器（RIE）。該設備整合了公司基於超場誘導無阻等離子體流動、高離子密度、均勻等離子體能量分布的領先等離子體生成和控制技術，以改善工藝流程。低阻抗磁助電離（MAI）技術可以提高工藝靈活性和性能。由於交流電感耦合源,該系統也具有很好的生產率.憑借其高度先進的基於PC的設備界面，AMAT Producer SE結合了全自動設備控制和多個用戶功能。它具有高級流程優化功能,大大減少了配方設置和操作改進所需的時間和資源。這是通過控制諸如氣體流量比、壓力、溫度和定時等參數的復雜軟件應用程序啟用的。FEOL（線前端）批次植入蝕刻工藝特點使其使用非常方便，可應用於各種化學氣相沈積、離子植入、植入後蝕刻等應用。應用材料生產商SE配備了強大、獨立的負載鎖定晶體離子槍組件，可提供高離子密度。SE獲得專利的緊密耦合高速氣體輸送裝置為高精度過程控制提供精確的氣體比。其獨特的雙模植入通過允許同時發生蝕刻和植入序列來加快過程。通過自動調整等離子體條件以提高效率的RIE氣體脈沖機的快速反應時間，進一步提高了生產率。Producer SE的雙模和分模基板處理工具提供了前所未有的靈活性,可以選擇不同的腔室配置。該資產還具有ProPlasma的高級過程監控功能,該功能提供有關等離子體特性、蝕刻過程性能和原子種類組成的實時數據。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一種可靠且經過驗證的工具,旨在滿足半導體制造商在實現高效、高質量、經濟高效生產方面的需求。憑借其先進的功能集和控制功能,SE為當今復雜的設備制造需求提供了經濟高效的解決方案。
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