二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9284854 待售
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已售出
ID: 9284854
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
SACVD system, 12"
Process: BPSG
(3) Twin CVD chambers
(2) Foup loader ports
Signal tower: 4 Color
MKS and ASTEX Plasma clean
AC Control rack
Generator rack
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Gases:
TEOS
TEB
TEPO
LDC
Power supply: 208VAC, 50/60Hz, 3 Phase
2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是為半導體器件制造而設計的革命性的先進反應堆。這一獨立設備由三個組成部分組成:一個活性金屬有機化學氣相沈積室、一個相鄰的惰性副產物室和一個多氣源。MOCVD腔室設計用於生長高質量的半導體薄膜,並通過其先進的溫度控制來控制材料的熱歷史。惰性副產品室為危險汽化材料在通過排氣系統安全清洗之前提供了安全的密封空間。多氣體源提供了將外延材料沈積在基板上所需的必要氣體。AMAT Producer SE反應堆的設計采用了幾種專利技術,將其與傳統的MOCVD系統區分開來。其中包括先進的溫度控制單元,確保快速反應和最佳工藝溫度;一個獨特的石英圓頂,為更大的化學反應性和最小的氣體消耗而配置;改善均勻性的三重垂直溫度區;以及先進的排氣機,能有效清除有害物質。這種最先進的工具還具有一系列診斷工具和交互式控制器,可以進行精確的監控和控制。APPLIED MATERIALS Producer SE旨在滿足半導體生產最苛刻的要求。它具有無與倫比的準確性和可重復性,有助於減少錯誤和提高產量。其「半導體設計」(DFS)概念提供了在MOCVD過程中對溫度的最佳控制,以確保無論工藝條件和環境影響如何都能獲得最高質量的薄膜。該資產還能夠形成厚度、形狀和結晶結構精確的外延結構。總體而言,生產SE是一種先進的反應堆,能夠滿足半導體生產的嚴格要求。其獨特的特點保證了卓越的薄膜質量、嚴密的熱管理、快速的加工時間和低成本的操作。此外,高級診斷和控制器的應用為復雜的設備研究和生產提供了高效可靠的工具。
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