二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9294355 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是為半導體研究人員、制造商和學術用戶設計的最先進的外延沈積設備。它提供了廣泛的沈積和蝕刻過程以及精確的控制和現場監測能力。該系統設有外延化學氣相沈積（E-CVD）室和介電蝕刻室。AMAT Producer SE可以存放各種III-V材料如GaAs和InP，以及SiO2和Si3N4。該沈積過程得到高效加熱器的支持，從而在生長過程中實現最小的熱失真，從而獲得更高質量的表層。該腔室設計用於在大面積（最大4英寸晶圓直徑）上提供均勻沈積。應用材料生產商SE配備了一個先進的、專用的epi-monitor單元，用於在沈積過程中對層進行原位表征。本機包括激光感應電流電壓（LIV或IV）、離子通道、光致發光（PL）、原子力顯微鏡（AFM）等多種正交原位微光譜技術。這樣可以實時控制外延生長過程,從而優化整個基板上的層質量和均勻性。此外，該工具還配備了遙控介電蝕刻室，具有廣泛的兼容蝕刻氣體。該腔室配有直接等離子體源，提供對工藝氣流、蝕刻功率、底物溫度的精確控制。這樣就可以精確蝕刻各種介電材料,例如Oxynitride、SiO2和Si3N4,用於高長寬比應用。Producer SE是一種易於使用且高度可靠的資產，提供出色的過程控制和層表征能力。AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER SE憑借其高精度的蝕刻和沈積能力，結合原位監控能力，是需要大規模生產高質量外延層的研究人員和制造商的理想工具。