二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9311351 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Producer SE是一種先進的晶圓制造反應器技術,為廣泛的應用提供卓越的性能和靈活性。這種用途廣泛的晶片蝕刻反應器具有較大的加工面積和先進的腔室設計，以實現最佳的等離子體均勻性和可重復性。AMAT Producer SE采用了最新的自動化和過程控制技術,可實現精確的過程控制和監控。APPLIED MATERIALS Producer SE是為高效吞吐量而設計的雙晶圓平臺系統。它配有兩個大的垂直安裝的冷卻頭,可在-15度到+15度之間調節。增加的沖洗氣體流量也允許快速冷卻和釋放晶片從卡盤。Producer SE的設計目的是在加工區提供均勻、可重復的等離子體，消除熱點並加速蝕刻速率。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE的核心是其先進的技術強健的電源。這種電源能夠對無功離子蝕刻等離子體進行嚴格控制和提高性能。AMAT Producer SE擁有一臺運行在13.56 MHz軌道頻率上的高頻射頻發生器，並具有0至400 kHz的可調射頻輸出。這確保了一個幹凈、穩定的背景等離子體與一個可調功率比優化蝕刻速率。APPLIED MATERIALS Producer SE旨在為蝕刻加工提供卓越的靈活性和晶片到晶片的重復性。其符合人體工程學的設計包括一個獲得專利的射頻匹配電路,該電路在各種負載下具有一致的射頻性能,以及一個雙螺栓磁力歧管,有助於創建各向同性等離子體形狀。此外,其帶惰性氣體的閉環冷卻系統提供了出色的可重復性,並允許在不同的工藝運行過程中實現可重復的蝕刻速率。綜上所述，生產商SE是一種堅固、用途廣泛、成本效益高的晶圓制造反應堆。其較大的處理面積、可調節的螺距冷卻頭、堅固的電源和射頻發生器，以及先進的磁流形和射頻匹配電路，確保了卓越的性能和卓越的重復性和控制能力，適用於廣泛的應用。