二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9315106 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE（Spin-on Epi）反應器是一種用於在工業和研究應用中沈積薄膜的最先進的epi沈積系統。AMAT Producer SE具有革命性的新設計,它利用了易於擴展的模塊。這使得沈積過程能夠根據特定需求進行定制和定制,並具有最大的靈活性、質量和成本效益。APPLIED MATERIALS Producer SE supported direct wafer-to-wafer manufacturing,允許基板在加工室之間直接轉移,而無需進入潔凈室環境。反應堆可以與現有的上下遊工藝相連接，提供完全集成的薄膜沈積解決方案。反應器室由不銹鋼制成，設計用於一次最多沈積兩個晶片。它被密封到低至5 × 10-7 Torr的真空水平，並利用兩區或三區基板加熱。雙區選項支持單卡帶傳輸，而三區選項則同時支持兩個卡帶的雙向卡帶到卡帶傳輸。生產者SE的核心是沈積源模塊，它是為普遍容納各種沈積材料而設計的。軟件控制源模塊支持廣泛的過程序列，從簡單的ALD（原子層沈積）到復雜的、時間順序的多步驟過程。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE還具有出色的現場監測和控制系統,使最終用戶能夠查看實際的實時廢水控制以及緊急情況下的報警功能。此外，反應堆還配備了先進但用戶友好的圖形用戶界面，用於訪問各種薄膜應用的標準配方。利用此功能,可以從遠程工作站監視和控制實際的沈積過程。除了支持用戶定義的配方外，AMAT Producer SE還為流行的應用提供了400多種預定義、設備專用的配方，包括SiN、SiC、SiOx、氮化物、電介質以及許多其他薄膜。總體而言，APPLIED MATERIALS Producer SE是一個頂級的、成本效益高的反應堆，旨在滿足大小企業的需求。它操作簡單，具有優異的薄膜沈積性能，並具有根據各種應用要求量身定制的靈活性。此外，它的實時監測和控制系統促進了過程的快速優化和質量保證，使其成為研究和工業應用的理想選擇。