二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9351469 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一種專門為沈積用於制造半導體器件和元件的薄膜而設計的反應器。這個反應堆利用了許多不同的技術來制造構成半導體的薄膜。這些包括物理氣相沈積(PVD),或蒸發、化學氣相沈積(CVD),或使用中間體產生薄膜,以及原子層沈積(ALD)或通過幾個原子在基板上的組合來生長薄膜。AMAT Producer SE的核心是其加工室。這個腔室設計用來容納將在制造過程中使用的各種基板。腔室還提供了一個可進行薄膜沈積的受控環境。腔室的關鍵部件是電源、光學高溫計和真空組件。此外,該室還裝有工藝監測設備和安全聯鎖裝置,可防止意外超壓,從而損壞工藝室及其部件。為確保薄膜的可靠和準確沈積,應用材料生產商SE利用了聚氯乙烯和聚氯乙烯技術。PVD依賴於要沈積在基板上的材料的蒸發,而CVD則依賴於使用中間體來制造薄膜。在沈積過程中,對原料施加動力,然後在基板上產生所需的薄膜。另外,ALD用於通過組合基板上的多個原子來創建薄膜。這是通過一系列步驟來完成的,從而形成所需的薄膜。為準確控制沈積過程,生產企業利用多種光學和電氣系統.其中包括高通量光學高溫計和工藝監控系統等光學器件,允許精確的工藝控制。此外,反應堆利用各種傳感器和聯鎖裝置來保護燃燒室及其部件免受損壞。這包括壓力傳感器、溫度傳感器和電流過載保護系統。總體而言,AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一種高度先進和可靠的反應堆,旨在沈積用於制造半導體器件和部件的薄膜。它利用PVD、CVD和ALD等多種技術,確保薄膜在基板上的沈積準確一致。此外,系統還包含各種光學和電氣組件,以提供精確的過程控制。最後,反應器包含安全聯鎖,以防止工藝室及其部件的超壓。
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