二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9354650 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一種專為需要高通量、高產量和低工藝變異性的作業而設計的半導體反應器。它是一個單晶片離心沈積（SWCD）反應器，專門設計用於提供高沈積選擇性、均勻的層組成和卓越的工藝重復性。AMAT Producer SE集成了高產量的雙向濺射設備和端點檢測器系統，以提供高沈積選擇性和均勻的層組成。雙向濺射裝置通過在目標表面上產生負電荷和正電荷來產生均勻的薄膜。與傳統的濺射系統相比，這確保了更均勻的層沈積。端點檢測機器允許在定義的端點進行額外的過程控制以及自動關閉。應用材料生產商SE沈積反應器采用的離心沈積（CD）技術是一種高通量、高產量、低工藝可變性的技術,與傳統的濺射相比,它減少了薄膜沈積時間。這是通過在沈積薄膜的同時以高角速度旋轉晶片，從而使沈積均勻性最大化來實現的。Producer SE reactor features a advanced tool architecture for enhanced process automation,從而減少了過程循環時間。此外，AMAT/APPLICED MATERIALS Producer SE反應堆具有變頻驅動器，為所有關鍵操作參數提供精確控制，包括溫度、壓力、射頻功率和流量。反應堆還具有堅固的材料輸送系統，可實現精確和穩定的流速，產生較高的沈積速率，同時最大限度地減少潛在的變異性。綜上所述，AMAT Producer SE是一種具有先進技術的離心沈積反應器，設計用於高沈積選擇性和工藝重復性。這項技術結合其強大的交付系統，確保了最高的生產產量、產量均勻性和縮短的工藝周期時間。