二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9390849 待售
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ID: 9390849
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
PECVD System, 12"
Process: APF
Load port type:
Enhanced 25
Wafer FOUP
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Power supply: 208 AC, 3 Phase
2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一種超高真空、渦輪分子泵浦、多室反應器,用於半導體芯片的加工。它設計用於處理從3英寸到8英寸的各種晶圓尺寸,並提供超高級別的過程控制,以確保一致和可重復的結果。AMAT Producer SE能夠每小時處理多達200個晶圓,是大批量生產的理想選擇。應用材料生產商SE具有先進的等離子體加工室,配置了多個射頻源,用於電感耦合等離子體(ICP)和電容耦合等離子體(CCP)過程。此外,它還配備了高靈敏度腔室壓力監控器以及數字壓力控制器和閥門,用於精確的過程控制。在Producer SE中,射頻源的高功率密度使過程具有更大的靈活性和控制能力。此外,ICP和CCP流程使用單一射頻發電機供電,減少了對多臺發電機的需求,使系統更具成本效益。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE腔室還配備了真空擴散泵,提供了更快的泵降時間和更好的真空性能。該系統還配備了一個過程加熱器,以便對敏感過程進行精確的溫度控制。此外,AMAT Producer SE還結合了幾個提高安全性的功能,包括杜瓦、自動壓力開關互鎖和腔室保護裝置。在過程監控方面,APPLIED MATERIALS Producer SE還提供了一套廣泛的工具和傳感器,如質量碎片監測器、分子檢測系統和光發射探測器。從這些工具中獲取的數據可用於優化過程和提高產量。此外,Producer SE還包含一系列診斷工具和附件,如質譜儀、過程監測器、光譜系統和泄漏探測器。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE還提供了一系列高級軟件包來支持其運行。該軟件提供了易於使用的圖形用戶界面,並允許用戶設置和監控各種流程步驟的性能。總體而言,AMAT Producer SE是一個高級、高性能、多室處理平臺,專為大批量生產而設計。憑借其先進的功能和全面的軟件包,APPLIED MATERIALS Producer SE提供了前所未有的性能和成本效益。
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